179233. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és kazetta félvezető struktúrák olvadékfázisu opitaxiális növesztéséhez

MAGYAR

fiéPKÖZTÁRSASÁG

ORSZÁGOS

TALÁLMÁNYI

HIVATAL

SZABADALMI

LEÍRÁS

SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY

Bajsíemás napja: 1979. VI. 04. (MA—3163)

Elsőbbsége:

Közzététs! napja : 1982.1.28.

Stab*d(é«íTI»’ ^_TtJLAJDÖT^.

Megjelent: 1986. X. 20.

179233

Nemzetközi osztályozás :

K!

H OIL 21/208 H OIL 21/368

K- - •'

3 .X

Feltalálóik):

Görög Tamás, oki. vegyészmérnök, dr. Lendvay Ödön, oki. vegyész, Ludányi Lajos, vegyésztechnikus, Budapest

Szabadalmas:

MTA Műszaki Fizikai Kutató Intézete, Budapest

Eljárás és kazetta félvezető struktúrák olvadékíázisú epitaxiáüs növesztéséhez

A találmány tárgya eljárás és kazetta félvezető struktúrák clvadékfázisu epitaxiális növesztéséhez,

Az epitaxiális növesztő rendszerek a kívánt hőmérséklethatárok között szabályozható és egyenletes hőmérsékletű térrel rendelkező fűtőberendezésből /kályha/,-a megfelelő stabil hőmérséklet előállítását, illetve- a kívánt hűtési sebességet előállitó szabályozó egységből, és a gázadagolást, illetve a vákuumozást szolgáló készülékből állnak. A kristályosítás a kályha belsejében elhelyezett inert v. EU gázöblitésü reaktorasőben történik, amely rendelkezik a szükséges gáz be-kivezetésekkel, illetve a kazetta elemeinek mozgatására szolgáló átvezetésekkel. A reaktorcsőben lévő grafit v. egyéb anyagból készült és megfelelően kialakított kazettában, illetve tégelyben helyezik el a növeszteni kivánt félvezető rétegek komponenseit tartalmazó olvadékot. Abban az esetben, ha több különböző összetételű réteget kivannak felnövesztenii. akkor több egymás-^ tói elkülönített olvadékot kell alkalmazni. Ugyancsak a kazettában, az olvadékok mellett vagy felett helyezik el az egykriqtályos félvezető szeletet, amelyre a réteget vagy rétegeket " felnövesztik, Az egyes olvadékok összetevőit elhelyezik a ka- , zettának az olvadék tárolására szolgáló részeiben, A félvezető szeletet a kazettában az olvadékoktól elkülönítetten rögzítik erre a célra általában a mozgatható nyelven elhelyezett sülylyeszték szolgálj Az igy előkészített kazetta bekerül a reaktorcső belsejébe, A reaktortér átöblitése után a kályha felfü-? késével és a kivánt-hőmérsékleten tartásával az olvadékok hoaogenizálása megtörténik'.