178802. lajstromszámú szabadalom • Eljárás szilicium napelemek előállítására

178802

Nemzetközi osztályozás:

H 01 L 31/18

1 2

/ /

'-------------------—_ I___/ i ^

'

Fig

\

\ ' X

5 4 3

.2a,

1

\

\

3

Fig. 2 b,