178660. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés fedőrétegnek tükröző felületre való felhordására
7 178660 8 7. példa Két rétegből álló kombinált védőréteget hordunk fel. Az első réteg hexametildiszilacán gőzökből 1 • 10'1 és 1,5 • IO"1 mmHg közötti nyomás, 400 és 420 V közötti feszültség, a kisülés 0,15 mA/cm2 áramsűrűsége és 5 kHz frekvencia mellett 1 perc alatt rakódik le. Ezután a kamra leszívatása után, a (CH30)4Si gőzökből 10"1 mmHg nyomás, 400 és 450 V közötti feszültség, a kisülés 0,3 mA/cm2 sűrűsége, 5 kHz frekvencia mellett 30 másodperc alatt második réteg rakódik le. Az 1. ábrán 1 munkadarabokra, például fényszóróreflektorokra való fedőréteg felhordását szolgáló futószalagos berendezés látható, amelyben vákuummetallizáló 2 készülékek vannak, ezeket pedig 4 hajtással ellátott zárt 3 láncos csúszda továbbítja. Minden 2 készüléknek van 5 vákuumkamrája (2. ábra), ami vákuum előállítására 6 vákuum egységgel van összekötve. A 6 vákuumegység 7 elővákuum-szivattyúból és 8 nagyvákuum-szivattyúból, 9 vákuumszelepekből és vezetékekből áll, ezek között 10 vákuumvezeték 11 adagolószeleppel van ellátva. Az 5 vákuumkamra, a 6 vákuumegység, valamint a berendezés 12 vezérlőtömbje 13 állványon van felépítve. Az 5 vákuumkamrába 14 fémelgőzölögtető 1 munkadarabokat befogó 15 rögzítőeszköz van szerelve. Az 1 munkadarabok a 15 rögzítőeszközökkel az 5 vákuumkamra házával szemben szigetelt és egymással egytengelyűén elhelyezett elektródák, amik 16 csapófedélbe vannak betolva, ezek pedig 17 csuklókkal vannak az 5 vákuumkamrán rögzítve. A 16 csapófedelek vákuumgumi 18 tömítőgyűrűkkel vannak ellátva. A 15 rögzítőeszközök az 1 munkadarabok, például fényszóróreflektorok gyors levételéhez és szereléséhez rugós 19 szorítópatronnal vannak ellátva. Az elektródák az 5 vákuumkamrán kívül tápforráshoz vannak csatlakoztatva. Az 5 vákuumkamra el van látva a kiindulási vegyületek gőzeit és gázokat bevezető adagolóval. Minden ilyen adagoló elektromágneses 21 zárószelepből, 22 adagolószelepből és — a kiindulási vegyidet gőzeinek bevezetése esetére - folyékony 24 kiindulási vegyületet tároló 23 tartályból tevődik össze. Ezenkívül a 22 adagolószelep csatlakozásának helyén az 5 vákuumkamra belsejében kúp alakú 25 elosztó van a 24 kiindulási vegyidet gőzeinek az 1 munkadarab felületére való egyenletes vezetéséhez. Ennek csúcsa az adagoló 27 csőcsonkjának 26 beeresztőnyüása felé van fordítva. A 3. ábrán a tükröző- és védőrétegnek fényszóróreflektorokra való felhordását szolgáló, periodikusan működő berendezés metszete látható. Ez a berendezés Az 5 vákuumkamrából áll, amely a 6 vákuumegységgel 28 és 29 csőcsonkon, all adagolószeleppel pedig a 10 vákuumvezetéken át van összekötve. Az 5 vákuumkamra a 24 kiindulási vegyidet gőzeinek vagy gázoknak bevezetésére itt is adagolóval van ellátva. Ennek az adagolónak is megvan a mágneses 21 zárószelepe, a 22 adagolószelepe és a folyékony 24 kiindulási vegyidet tárolására a 23 tartálya. A 24 kiindulási vegyidet gőzeinek az 5 vákuumkamrába való bevezetése helyén van a 25 elosztó a 24 kiindulási vegyidet gőzeinek az 1 munkadarabra való egyenletes vezetéséhez. A 25 elosztó 31 nyílásokkal ellátott 30 csövek rendszere, a 31 nyílások átmérője a gáz alakú 24 kiindulási vegyidet bevezetésének irányába növekszik. Az 1 munkadarabok (2. ábra) az 5 vákuumkamra házával szemben szigetelt 32 forgódobban (3. ábra) vannak rögzítve, amely egymással szemben villamosán szigetelt szegmensekből áll. A feszültséget sorban egymás után az egymással szemben, egytengelyűén elhelyezett 1 munkadarabokra - elektródákra - (2. ábra) kapcsoljuk, amelyek a 32 forgódob egymással szemben fekvő említett szegmensekben vannak elhelyezve. A 32 forgódob belső terében van a 14 fémelgőzölögtető, amely körül az 1 munkadarabok (2. ábra) forognak. A futószalagos berendezés a következőképpen működik. Az 5 vákuumkamrákat a zárt 3 láncos csúszda (1. ábra) folyamatosan továbbiba. Töltési helyzetben minden 5 vákuumkamrában (2. ábra) tükröző réteg felhordásához előkészített felületű 1 munkadarabokat, például fényszóróreflektorokat helyezünk, a 14 fémelgőzölögtetőbe pedig alumíniumot teszünk. Ezután zárjuk az 5 vákuumkamra 16 csapófedelét, és a további folyamatok önműködően zajlanak le. A 3 láncos csúszdán való továbbítás során (1. ábra) az 5 vákuumkamrában (2. ábra) először 10~2 mmHg nagyságrendű elővákuumot hozunk létre, utána pedig 10~* mmHg nagyságrendű vákuumot, emellett végezzük a fémezést. Az alumínium elgőzölögtetésének befejezése után és a wolframporlasztó rövid idejű hűlése után az 5 vákuumkamrát elválasztjuk a 8 nagyvákuum-szivattyútól és a 10 vákuumvezetéken keresztül a 7 elővákuum-szivattyúval kapcsoljuk össze. Ezután a 24 kiindulási vegyület gőzeit az 5 vákuumkamrába vezetjük és az 1 munkadarabok - amelyek egyúttal elektródák is - között parázsfénykisülést hozunk létre. A védőréteg felhordásának befejezte után a parázsfénykisülést kikapcsoljuk, a 24 kiindulási vegyület gőzeinek az 5 vákuumkamrába való vezetését beszüntetjük és a gáz alakú reakdótermékeknek az 5 vákuumkamrából való kiszívattyúzása után az 5 vákuumkamrát elválasztjuk a 6 eszköztől és az 5 vákuumkamrába levegőt vezetünk. Ezután kiszedjük a fényezett reflektorokat és berakjuk az újabb 1 munkadarabokat az 5 vákuumkamrába és az elgőzölögtetendő alumíniumot a 14 fémelgőzölögtetőbe, ezután a ciklus megismételhető. A szakaszos üzemű berendezés a következőképpen működik. A minka megkezdése előtt a 23 tartályba (3. ábra) olyan mennyiségű szerves 24 kiindulási vegyületet töltünk, ami több munkaciklusra elegendő. Az alumíniumnak a 14 fémelgőzölögtetőbe és az 1 munkadaraboknak a 32 forgódobba való töltése kézzel történik a következő szakasz kezdete előtt. Az 1 munkadaraboknak a 32 forgódobba és az alumíniumnak a 14 elgőzöl ögtetőbe való betöltése után a kezelő zárja az ajtót, ahn után a többi folyamat önműködően zajlik le. Először a 7 elővákuum-szivattyúval a 28 csőcsonkon át előritkítást végzünk az 5 vákuumkamrában, ezután a 8 nagyvákuum-szivattyúval a 29 csőcsonkon át- munkávákuumat hozunk létre, amely mellett az alumíniumporlasztást végezzük. Az alumíniumporlasztás és * 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 4
