177423. lajstromszámú szabadalom • Berendezés elektronikus kapcsolások villamos paramétereinek ellenőrzésére
5 177423 6 mert berendezésekhez viszonyítva 1,5—2-szeresére növelt időn keresztül használhatók, az ellenőrizendő 44 és 45 integrált áramkörök és a berendezés 2 vezetékes lemezén fekvő egységek közötti kapcsolatok hossza jelentősen csökken és gyakorlatilag 5 egyenlővé tehető. Mindezek révén a villamos paraméterek nagyfrekvenciás ellenőrzése hatékonyan végezhető, a mérési eredmények jól reprodukálhatók, az 5 és 36 érintkezőegységekbe különböző integrált áramkörök 10 is helyezhetők. A 2 vezetékes lemezen levő 3 elektronikus eszközök jelentős mennyiségű hőt fejlesztenek. Ennek elvezetésére a 18 légbevezető nyíláson a huzalozás lezárására szolgáló 10 borításon keresztül 15 levegőt juttatunk be, amely megfelelő nyomáson a 11 lyukon áthaladva az 1 alaplemez, a felső 12 fedőlap és a hermetikusan záró 23 borítás között kering. A levegő mozgását az előbb meghatározott tér 20 úgy korlátozza, hogy a 2 vezetékes lemezekhez tartozó 14 hőelvezetések irányában mozog, ahol a 3 elektronikus eszközök által fejlesztett nagymenynyiségű hőt átadja. Ezzel a megoldással a levegő biztosítja a 20 lemezen elhelyezett 22 kiegészítő 25 elemek hűtését is, a felső 12 fedőlap, a hermetikus zárást biztosító 23 borítás és az 1 alaplemez között áramolva. Az elektronikus kapcsolások villamos paramétereinek mérésére szolgáló berendezés ilyen konstruk- 30 ciós megoldása kis méretek mellett is biztosítja a 3 elektronikus eszközök és a 22 kiegészítő elemek által keltett hő elvezetését még a növekvő frekvenciákkal jelentősen megemelkedő mennyiségben is. Az elektronikus kapcsolások villamos paraméte- 35 remek ellenőrzésére szolgáló berendezés üzemének megkezdése előtt a 20 lemez 21 érintkezőibe 22 kiegészítő elemekként cserélhető terhelő elemeket lehet helyezni az ellenőrizendő 44 és 45 integrált áramkör valós terhelésének biztosítására. Ezek az 40 elemek a 19 dugaszolható kapcsoláson keresztül csatlakoznak a 2 vezetékes lemezekkel. A terheléseket létrehozó részt a hermetikus zárást biztosító 23 borításon keresztül vezetjük be. A 16 vezérlő vezetékes lemezek szintén elekt- 45 ronikus építőelemeket hordoznak. Ezek segítségével automatikusan biztosítható a berendezés üzeme során a 22 kiegészítő elemek, a 28 és 29 kapcsolóelemek becsatlakoztatása és a 3 elektronikus eszközök bekapcsolása. A 17 dugaszolható kapcsolás 50 révén a berendezés külső vezérlő egységre is csatlakoztatható. A találmány szerinti berendezés fentiekben ismertetett felépítésben biztosítja a jó kihasználtságot, a sokrétű alkalmazhatóságot, a mérési ered- 55 mények frekvenciától független reprodukálhatóságát és megbízhatóságát. A kivehető 24 toldalék kialakítása biztosítja a cserélhetőséget. Helyébe célszerű felépítésű szondaberendezés is csatlakoztatható, amellyel a bérén- 60 dezés alkalmassá válik lemezekre épített integrált áramkörök ellenőrzésére. Ebben az esetben a találmány szerinti berendezésben a 24 toldalék, az 5 és 36 érintkezőegység, a 26 és 27 érintkezőlemez és a 32, 33 kimeneti 65 lemez feleslegessé válik, ugyanígy a 30 és 31 vezérlőtekercs és a 28, 29 kapcsolóelemek. Ezek helyébe 38 toldalék (2. ábra) kerül. A 38 toldalék homlokrészével 42 érintkezőegység csatlakozik. A berendezés ily módon lemezre szerelt integrált áramkör vizsgálatára válik alkalmassá a következő módon: A berendezést 47 integrált áramkört tartalmazó kristállyal ellátott 46 lemez és 48 mikroszkóp közé helyezzük. Az 1 alaplemezben kialakított nyílások, a 42 érintkezőegység és a 38 toldalék révén a 48 mikroszkóp felhasználásával a 46 lemezen fekvő 43 szondaérintkezők helyzete a 47 integrált áramkörök kristály érintkezési felületéhez viszonyítva vizuálisan ellenőrizhető. Megfelelő beállítás után, — a 43 szondaérintkezők végét a 47 integrált áramkör érintkezési felületének közepére kell illeszteni — a 43 szondaérintkezők érintkeznek a 47 integrált áramkör felületével. A 2 vezetékes lemezek kimenetéről kapott jelek a 4, 8 39 érintkezőkön, a 39 oldalérintkezőn valamint a 41 vezetékeken keresztül jutnak a megfelelő 43 szondaérintkezőkre. Továbbiakban a jelek a 47 integrált áramkör felületére jutnak és ezek segítségével a villamos paraméterek ellenőrzése elvégezhető. Ezzel az eljárással a berendezés villamos paraméterei nagy stabilitással biztosíthatók és így a mikroelektronikai eszközök gyártásában az ellenőrzés stabilizált feltételei elérhetőek. Szabadalmi igénypontok: 1. Berendezés elektronikus kapcsolások villamos paramétereinek ellenőrzésére, amely alaplemezt, vezetékes lemezeket, rajtuk elektronikus eszközöket és a vezetékes lemezek közelében fekvő érintkezőegységhez vezetett kapcsolóérintkezőket, azzal jellemezve, hogy az alaplemezen (1) átmenő nyílás kerületén a vezetékes lemezekhez (2) dugaszolható kapcsolások (6) és érintkezőkkel (8) ellátott megvezetések (7) vannak, az alaplemezben (1) a dugaszolható kapcsolások (6) alatt huzalozás részére borítással (10) zárható bemélyedés (9) és a dugaszolható kapcsolások (6) mellett lyukak (11) vannak, a vezetékes lemezek (2) felett az alaplemez (1) lyukaitól (11) az elektronikus eszközök (3) hőéi vezetőihez (14) levegőmozgás biztosítására lyukakkal (13) ellátott lemezek részére fedőlap (12) van, az alaplemezre (1) merőlegesen dugaszolható kapcsolásban (15) vezérlő vezetékes lemezek (16) helyezkednek el, az alaplemez (1) homlokrészében csatoló dugaszolható kapcsolások (17) és légbevezető nyílások (18) vannak, a fedőlaphoz (12) kiegészítő lemez (20) van erősítve, amely kiegészítő elemekhez (22) csatlakozó érintkezőket (21) tartalmaz, a kiegészítő elemek (22) a fedőlapba (12) beszerelt és hermetizáló borítás (23) alatt a kiegészítő lemezekkel (20) együtt elhelyezett, terhelést bevezető dugaszolható kapcsolással (19) csatlakoznak, valamint a megvezetések (7) között az érintkezőkkel (8) kapcsolatba hozható levehető toldalék (24, 38) helyezkedik el. 3
