177325. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és kapcsolási elrendezés kapuelektródás dielektrikummal fedett p-n dióda dielektrikum réteg töltésállapotainak mérésére
5 177325 ■6 Felhasználva a drift áramsűrűség összefüggést Iox = qnvd, a befogadott töltések kompenzálásához szükséges kapuelektróda feszültség megváltozás AVG a következőképpen írható : AVG(t) = M[l-exp(--^üt), X 4 ti M = xj'Ni(x)dx ahol M az első momentum, x a befogott töltések eloszlásának töltés súlypontja, d az oxid vastagság. AVG(t) mért görbékhez a fenti elméleti összefüggés alapján M és a illeszthető. Azonos körülmények között előállított különböző vastagságú dielektrikumokon mérve a csapdák eloszlása és sűrűsége meghatározható. Kísérleti eredményeink alapján megállapítjuk, hogy az általunk kidolgozott eljárás és mérési elrendezés legfőbb előnye az, hogy lehetővé teszi egy kapuelektródás dielektrikummal fedett p-n dióda struktúra szerkezeti elemeinek három fontos paraméterének egyidejű meghatározását. Ezek a paraméterek a következők : A forró töltéshordozók injekciós hatásfoka a félvezetőből a dielektrikumba, a dielektrikum töltésállapotainak sűrűsége és befogási hatáskeresztmetszete. Szabadalmi igénypontok : 1. Eljárás kapuelektródás dielektrikummal fedett p-n dióda (8) dielektrikum rétegében lévő csapdák töltésállapot 5 sűrűségének és befogadási hatáskeresztmetszetének, valamint a félvezetőből a dielektrikumba történő töltésinjekció injekciós hatásfokának meghatározására oly módon, hogy a p-n átmenetet állandó záróáram mellett lavina letörésbe vezéreljük, azzal jellemezve, hogy változtatható felt) szültségforrás (4) beállításával a p-n átmeneten állandó felületi letörést hozunk létre és a kapuelektróda (7) feszültségét, valamint a kapuelektródán (7) átfolyó áramot mérjük és kiértékeljük. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárást foganatosító kapcsold lás elrendezés kapuelektródás dielektrikummal fedett p-n dióda (8) töltésállapotainak mérése, azzal jellemezve, hogy a l.apuelektróda (7) egy árammérő műszeren (3) keresztül m. veleti erősítő (2) kimenetébe csatlakozik, az ugyanazon műveleti erősítő egyik bemenete egy változtatható árarn- 20 forrásba (1) a másik bemenete pedig egy változtatható feszültségforrásba (4) van bekötve, a változtatható feszültségforrás (4). a változtatható áramforrás (1) és a kapuelektródás dielektrikummal fedett p-n dióda (8)p vagy n tartománya fcldpontra csatlakozik, a kapuelektródás di- 25 elektrikummal fedett p-n dióda (8) n vagy p tartománya pedig a változtatható áramforrásba ( 1 ) van bekötve, a műveleti erősítő (2) kimenete és a földpont közé egy feszültségmérő műszer (9) van közbeiktatva. 1 rajz, 1 ábra-* kiadásért felel: a Közeazdasáei és Ima Könvvkiadó iea7eatóia igazgató 82.6503.66-42 Alföldi Nyomda. Debrecen Felelős vezető: Benkö István
