176088. lajstromszámú szabadalom • Tűtartó févezető CHIP-ek vizsgálatára
5 176088 6 lyet egy, a rugalmas tűrészt támasztó tető alakú csapágy és két, egymástól térközben elhelyezett prizma alakú olyan kimélyítés alkot, amely kimélyítések az alaptest ellentámjaként szolgálnak. Az alaptestben egy olyan csap van, amely egy anya segítségével magassági irányban állíthatóan van elrendezve, és amely egy horonyban levő ütközőben a tető alakú csapágyat tartalmazza. Az ütköző a magassági méretállítás határolására szolgál. Egy, a csap mélyedésébe játékmentesen benyúló vezetőlap szolgál az anya segítségével a csap magassági méretállításánál az elfordulás elleni védelem eszközeként. A tű lehajlított végét a két horonyban oly módon vezetjük meg, hogy az a sík, amelyet a meghajlított tűhegyek és a tű rugalmas része zár be, a félvezető chipek felületére harántirányban álljon. Előnyösen a tű hajlított végének tengelye is ebbe a síkba esik. Az anya állításával a csapot az alaptestben magassági irányban szabályozhatjuk. Minthogy a tű hárompontos ágyazással van befogva, a tű rugalmas része behajlik, minek következtében a meggörbített tűhegy magassága elállítódik. Ezáltal válik lehetővé, hogy a meghajlított tűhegyek magassági helyzetének a forrasztásnál létrejövő eltérései kiegyenlíthetők, minek következtében nagyszámú, azonos módon meghajlított tűhegyet lehet a félvezető chip-ek felületének érintkeztetésére azonos magassági helyzetbe állítani. A fentiek szerint leírt módon beállított görbített tűhegyek magassági méretbeállítása lehetővé teszi hibás mérések kiküszöbölését, és ugyanakkor a görbített tűhegyek és az azokkal érintkező bond-szigetek között azonos tűnyomás biztosítható, minek következtében nem fordulhat elő, hogy a bond-sziget alumíniumoxid rétegét a tű hegye nem szúrja át. így az is kizárható, hogy a tű a bond-sziget félvezető szilícium felületét teljes egészében átszúrja. A hatás, amely a magassági méretbeállítás lehetősége folytán a meghajlított tűhegyekkel érhető el, még azáltal is növelhető, hogy a tű különleges befogása következtében egy rugalmas tűrész keletkezik, amely az ismert szerkezeteknél alkalmazott tűrészek rugalmasságának többszöröse. Ezáltal igen kis különbségek jöhetnek létre az egyes tűhegyek magassági helyzetei között igen kis érintkezési különbségek esetén. Azonos érintkezési erőknél ilyen módon különböző kontaktnyomások jöhetnek létre a meghajlított tűhegyek esetében. A gyártási méretszórásból eredő felületi különbségek folytán a meggörbített tűhegyek kontaktnyomásainak különbségei kiegyenlíthetők. A tűnek és a tűtartónak a találmány szerinti kialakítása útján elérhető, hogy a tűk az anya kioldásával kicserélhetők legyenek. Emellett a tűtartó valamennyi alkatrésze a továbbiakban is felhasználható. A találmány példakénti kiviteli alakját rajz alapján ismertetjük részletesebben. A rajzon az 1. ábra a tűtartó oldalnézetét szemlélteti vázlatosan, a 2. ábra a tűtartót a 3. ábra A—A vonalai mentén vett metszete alapján szemlélteti, a 3. ábra a tűtartót felülnézetben, vázlatosan szemlélteti, a 4. ábra a rugalmassági görbe lefutását szemlélteti aj a 3 810 017 sz. USA szabadalom szerinti megoldás esetén b) a találmány szerinti megoldás esetén. Az 1. ábrán látható tűtartónak egy 1 alapteste van, amelynek 2 csatlakozóvége alul helyezkedik el egy 4 tűkártya 3 csatlakozó felületére forrasztva. Az 1 alaptesten egy 5 csap helyezkedik el, amely egy 6 anyával van rögzítve. Egy 7 csavarral egy 8 vezetőlap van az 1 alaptesthez rögzítve. Amint a 2. ábrán látható, a 8 vezetőlap az 1 alaptesten úgy van kialakítva, hogy az az 5 csap egy 9 kimélyítésébe az 1 alaptest hosszanti tengelye irányában benyúlik. Az I alaptesten két prizma alakú 11 és 12 kimélyítés úgy van kialakítva, hogy azok egy tető alakú 13 csapággyal egy, az 5 csap 15 ütközőjével vízszintesen elhelyezkedő 14 horonyban vannak rögzítve, és alkalmasak arra, hogy a 16 tű 17 rugalmas részét befogják. A 16 tűk előnyösen függőlegesen meghajlított 18 végükkel az 1 alaptest 19 hornyában és a 8 vezetőlap 20 hornyában vannak megvezetve. Az 1 alaptest 19 hornya az alaptesthez képest haránt irányban áll, míg a 8 vezetőlap 20 hornya az 1 alaptest hosszanti irányában helyezkedik el. Azon okból, hogy a tű lehajlított 18 végét az egymással harántirányban álló 19 és 20 hornyokba helyezhessük, a 2 csatlakozóvégben, a lehajlított 18 vég oldala mentén egy 21 furat található. A 16 tű lehajlított végével szembeni oldalán van a hajlított 22 tűhegy. Amint a 3. ábrán látható, a hajlított 22 tűhegy a 24 félvezető chip-ek 23 bond-szigetével a 25 félvezetőtárcsán vezető összeköttetésben van. A 6 anya elállításával az 5 csap az 1 alaptesthez képest harántirányban elmozdítható, úgyhogy a tű 17 rugalmas részének meghajlásával — a prizma alakú 11 és 12 kimélyítések és az 5 csap tető alakú 13 csapágya közötti részen — a meghajlított 22 tűhegy ellenkező irányú elmozdulást végez. A 24 félvezető chip-ek felületéhez viszonyított magassági méretbeállítással igen nagy számú azonos módon hajlított 22 tűhegy állítható be, és igen nagy számú 23 bond-szigettel való villamos érintkeztetés hozható létre. Azáltal, hogy a 16 tű 17 rugalmas része a prizma alakú II kimélyítésnél nincs fixen befogva, hanem a két prizma alakú 11 és 12 kimélyítés valamint a tető alakú 13 csapágy három csapágypontján fekszik fel, adódik a 16 tű hosszabb 17 rugalmas része. Ez utóbbi a fixen befogott tűrésszel kialakított hasonló szerkezetekhez képest hosszabb rugalmas tűrészt eredményez. A 4. ábra a 3 810 017 sz. USA szabadalom szerinti tűbefogás rugalmasságának szemléltetésére szolgál. A lehajlított 18 végeknek a két, egymáshoz képest haránt irányú 19 és 20 hornyok által való megfogása azt eredményezi, hogy a 17 rugalmas rész tengelye és a 22 tűhegy által alkotott sík a 24 félvezető chip-ekhez képest harántirányban áll. Az 5 csap 9 kimélyítésébe benyúló 8 vezetőlap a 7 csavar által úgy van beillesztve, hogy az 5 csap harántirányú állításakor, amelyet a 6 anyával végzünk, elforduló elmozdulás nem jöhet létre. A 15 ütköző az 5 csap magassági méretállításának határolására szolgál. A 9 kimélyítés úgy van kialakítva, hogy az 5 csap 6 anyájának kioldásakor a 16 tű rugalmassága következtében a 8 vezetőlap felfekszik, és a 16 tű megmaradó rugalmas alakváltozása elegendő arra, hogy az a hárompontos befogásból ki ne essen. A 6 anya kioldásával az 5 csap fölfelé mozdul el és a 17 rugalmas rész feszítése meglazul. A 16 tű ekkor oldalirányban a két prizma alakú 11 és 12 kimélyítésből és az oldalirányban nyitott 14 horonyból a lehajlított 18 vég körül kilendülhet, és a két 19 és 20 horonyból valamint 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 3
