175554. lajstromszámú szabadalom • Eljárás piezo elektromos anyagok jóságának meghatározására
5 175554 6 séges vagy természetes piezo-kvarcnál, és egyéb piezo anyagok vizsgálatára. A piezo-elektromos anyagok jósági vizsgálatára javasolt találmány szerinti eljárás előnye az, hogy a vizsgálati eredményt nem befolyásolja sem a felület minősége, sem annak alakja vagy nagysága, így az eredmény minden esetben objektív és mindenkor reprodukálható. Miután a vizsgálati minták elkészítésének módja igen egyszerű, és az ellenőrzést definiált hőmérsékleten végezzük, a piezo-elektromos anyag jóságának vizsgálatára fordítandó idő az ismert eljárásokhoz képest jelentősen csökkenthető volt. A találmány szerinti eljárás egy további előnye az a lehetőség, hogy a mesterségesen növesztett piezo-kristályok minőségének vizsgálatát a Z tengely mentén felvitt igen vékony réteg esetén is elvégezhetjük. Végül igen előnyös lehetőség az, hogy elvégezhetjük a minőségi vizsgálatot egész tömbkristályokon is, amelyekből piezo készítmények készülnek és meghatározhatjuk annak paramétereit anélkül, hogy az elkészült gyártmányok paraméterei a továbbiakban helyesbítésre szorulnának. 5 Szabadalmi igénypont Eljárás piezo-elektromos anyagok jóságának meghatározására, amelyet a piezo-elektromos anyag di- 10 elektromos veszteségi tényezőjének a hőmérséklet-frekvencia függvényében való mérése révén végzünk, ahol is az egyik paramétert konstans szinten tartjuk, és ezen függőségnek a másik paramétertől való módosulását mérve állapítjuk meg azt az értéket, amelynél a dielektro- 15 mos veszteségi tényező a maximumát éri el és amelynél a piezo-elektromos anyag jósága megítélhető azzal jellemezve, hogy a jóság meghatározását úgy végezzük, hogy a frekvencia szolgál független változóként, míg a konstans paramétert a hőmérséklet képezi. 2 rajz, 3 ábra A kisdiáért felel : a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 80.0618.66-42 Alföldi Nyomda, Debrecen — Felelős vezető: BenkŐ István igazgató 3
