175524. lajstromszámú szabadalom • Integrált áramköri eszköz, amely N-cstornás és P-cstornás szigetelt gate elektródájú térvezérésű tranzisztorokat tartalmaz és eljárás az integrált áramköri eszköz előállítására
11 175524 12 körülveszi a testtel (12) azonos vezetési típusú tartományt (40) a kúttartomány (36) belsejében, amelyik a második keretszerű struktúrát (24) veszi körül. 4. A 3. igénypont szerinti integrált áramköri eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az említett 5 első, második és harmadik keretszerű struktúrák (22, 24 és 26) mindegyikének belső periférikus határa (48) és külső periférikus határa (46) van, és a nagyobb szennyezési sűrűségű, ellentétes vezetési típusú tartománynak (50) olyan felületmetszési határa van, amely 10 lényegében szomszédos az első keretszerű struktúra (22) belső periférikus határával (48). 5. A 4. igénypont szerinti integrált áramköri eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az az azonos és az ellentétes típusú vezetőképességgel rendelkező 15 tartományok (38, 40, 42 és 44) mindegyikének az egyik keretszerű struktúra (24 vagy 26) belső vagy külső periférikus határával (48 vagy 46) lényegében szomszédos felületmetszési határai vannak. 6. Az 1. igénypont szerinti integrált áramköri esz- 20 köz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az említett ellentétes vezetési típussal rendelkező tartomány (44), amelyik a harmadik keretszerű struktúrát (26) veszi körül, az első keretszerű struktúrát (22) is körülveszi. 7. A 6. igénypont szerinti integrált áramköri esz- 25 köz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az első keretszerű struktúrában (22) levő vezető anyagú réteget (30) az ellentétes típusú vezetéssel rendelkező és az első és harmadik keretszerű struktúrákat (22 és 26) körülvevő tartománnyal (44) összekötött vezetője 30 (68) van. 8. Az 1. igénypont szerinti integrált áramköri eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy negyedik keretszerű struktúrája vagy előnyösen szigetelő kapuja (108) van, amely szerkezeti kialakítását tekintve 35 hasonló a felület (14) első részén elhelyezett első, második és harmadik keretszerű struktúrákhoz. 9. A 8. igénypont szerinti integrált áramköri eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a negyedik keretszerű struktúra a második keretszerű struktúra 40 (24) körül van kiképezve. 10. A 8. igénypont szerinti integrált áramköri eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy ötödik keretszerű struktúrát, előnyösen szigetelő kaput (115) tartalmaz, amely a többi keretszerű struktúrához ha- 45 sonlít, és a felületnek (14) az említett második részén helyezkedik el. 11. A 10. igénypont szerinti integrált áramköri eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az ötödik keretszerű struktúra, előnyösen szigetelő kapu (115) 50 körülveszi a harmadik keretszerű struktúrát, előnyösen gate elektródot (118). 12. Eljárás félvezető integrált áramköri eszköz előállítására túlnyomórészt egyetlen típusú vezetéssel rendelkező anyagú félvezetőből készült testből, amely- 5 5 nek felülete van, azzal jellemezve, hogy az említett felületen szigetelő anyagú első folytonos réteget képezünk ki; az említett szigetelőanyagú rétegen (28) vezető anyagú folytonos második réteget (30) képezünk ki, a második réteg (30) meghatározott részei- 60 ről az anyagot eltávolítjuk és ezzel mintázatot hozunk létre, amely mintázat legalább egy első keretszerű struktúrát (22), teljes egészében az első keretszerű struktúrában (22) elhelyezett második keret-A kiadásért felel: a Közgazdasági é (80193) MGSZ Nyomda, Budapest -szerű struktúrát (24) és egy harmadik keretszerű struktúrát (26) tartalmaz, amely teljes egészében kivülesik az első keretszerű struktúrán maszkírozott bevonással, majd a testen (12) olyan bevonati réteget (70) képezünk ki, amely a szennyezésmódosítók részére áthatolhatatlan, ezen réteg (70) mintázata csupán a második keretszerű struktúrát (24), és ezzel együtt a rajta kiképzett első réteget (28) hagyja szabadon, továbbá szabadon hagyja az első rétegnek (28) olyan tartományát, amely az első keretszerű struktúrán (22) belül helyezkedik el, és a második keretszerű struktúrán (24) kívülre esik és azt körülveszi; majd ellentétes típusú vezetésmódosítókat juttatunk a testbe (12), és ezzel ellentétes vezetési típusú folyamatos kúttartományt (36) képezünk ki az első rétegnek (28) legalább azon részei alatt, amelyek az említett maszkírozott rétegnél (70) nyitottak voltak, és a második keretszerű struktúra (24) alatt; az említett első réteg (28) szabad részeit eltávolítjuk; eltávolítjuk az említett maszkírozó réteget (70); az említett első típusú vezetésmódosítókból a testbe (12) juttatunk és ezáltal az első típusú vezetéssel rendelkező tartományokat (38 és 40) képezünk ki az említett felület (14) azon részeinek szomszédságában, amelyek a második keretszerű struktúrán (24) belül és kívül helyezkednek el; majd az első réteg (28) fennmaradó részeit mindenhonnan eltávolítjuk, kivéve azokat, amelyek az első, a második és a harmadik keretszerű struktúra (22, 24 és 26) alatt fekszenek; majd ellentétes típusú vezetésmódosítókat juttatunk a test (22) azon részeibe, amelyek a felület (14) azon részeivel szomszédosak, amelyeket az első, a második és a harmadik keretszerű struktúra (22, 24 és 26) szabadon hagy. 13. A 12. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az ellentétes vezetési típusú folyamatos kúttartományt (36) azután képezzük ki, hogy az említett maszkírozott réteget (70) ionimplantációs ellentétes típusú vezetésmódosítók révén a testbe (12) olyan energiával végeztük el, amely nem elegendő az említett maszkírozó rétegen (7Ô) való áthatolásra, de elegendő az említett első rétegbe (28) és az első és második réteg (28, 30) együttesébe való behatolásra. 14. A 12. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy annál a lépésnél, amelynél az első típusú vezetésmódosítókat vezettünk a testbe (12), hogy kiképezzük az első típusú vezetéssel rendelkező tartományokat (38 és 40), a műveletet úgy végezzük el, hogy a módosítókat a keretszerű struktúra (24) belsején és külsején levő említett felületű (14) részeken keresztül a testbe diffundáltatjuk. 15. A 14. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az első típusú vezetés N típusú, az említett vezetésmódosítókat foszforatomok képezik, a foszfornak az első típusú vezetési tartományokban (38 és 40) a koncentrációja 1021 atom/cm3 nagyságrendnél nagyobb, és annál a lépésnél, amelynél ellentétes típusú vezetésmódosítókat vezetünk be a test (12) azon részeibe, amelyek a felület (14) azon részeivel szomszédosak, amelyeket az első, második és harmadik keretszerű struktúra (22, 24 és 26) nem fed, ott a testbe (12) bórt diffundáltatunk olyan koncentrációban, amely nem elegendő ezen tartományoknak (38 és 40) az első típusú vezetését P típusúvá változtatni. 4 rajz, 11 ábra i Jogi Könyvkiadó igazgatója ' ~ Felelős vezető: Tulipánt József 6
