174977. lajstromszámú szabadalom • Mozgó tárgyak méretének elektro-optikai mérésére alkalmas eljárás és berendezés
11 174977 sugár alkalmazására. Általában alkalmazható kis mértékben konvergens vagy divergens fénysugár is bizonyos típusú tárgyak mérésénél abból a célból, hogy csökkentsük bizonyos geometriai viszonyok hatását — mint például az oldalfal reflexió vagy kúposság - az 5 elvégzendő mérésre. Ilyen esetekben a letapogatási programnak bizonyos korrekciós részt kell tartalmaznia, amely a fluxus széttartás és a táigy mozgásfüggvénye. Mint már korábban megemlítettük, a letapogatási 10 apertúra véges mérete és a kóma-hiba, valamint a többi hibák által okozott optikai életlenség figyelembe vehető oly módon, hogy a hullámalakon az él helyzetének megfelelő billenési pontot a zavaró tényezők jelenlétében analizáljuk. Ez a számítás elvé- 15 gezhető a klasszikus Fresnel-elhajlási integrálnak a zavaró tényezők - például véges apertúra méret figyelembevételével történő megoldásával. Amennyiben a zavaró hatások olyan mértékűek, hogy lényegesen befolyásolják a tárgy méretének meghatározását, 20 akkor két billenési pontot kell alkalmazni, egyiket a fényesség 25%-ánál, a másikat pedig az 50%-ánál, hogy ily módon kompenzáljuk a tárgynak az elektrooptikai letapogató rendszer iányába, vagy ezzel ellentétes irányba történő elmozdulásai miatt fellépő Fres- 25 nel-elhajlással való kölcsönhatásokat. Szabadalmi igénypontok 30 1. Eljárás tárgyak méreteinek érintés nélküli elektrooptikai ellenőrzésére, azzal jellemezve, hogy a tárgyat párhuzamos, vagy kis divergenciájú fénysugárral megvilágítjuk és előállítjuk az árnyképet, amelynek 35 körvonala Fresnel diffrakciós zónát határoz meg, az árnyképet egy meghatározott nyomvonal mentén letapogatjuk és a letapogatás nyomvonalát keresztezd zóna fényerősségével arányosan változó elektromos jelet állítunk elő, az elektromos jelet kiértékeljük és a 40 Fresnel diffrakciós zónának azt a pontját választjuk ki, amelynek a fényereje a tárgy nélküli teljes fényerőnek egy meghatározott százaléka, és a tárgy méreteit a kiválasztott pont adatai alapján határozzuk meg. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az elektromos jel kiértékelésénél a Fresnel diffrakciós zónának azt a pontját választjuk ki, amelynek a fényereje a tárgy nélküli teljes fényerőnek hozzávetőlegesen 25%-a. 3. Elektro-optikai rendszer az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítására, azzal jellemezve, hogy letapogatója (13), valamint erre irányított fényforrása (10) van, az ellenőrzött tárgy (11) a letapogató (13) és a fényforrás (10) között van, és a letapogató (13) kimenetére szintdetektor (14) csatlakozik, amely szintdetektor (14) adatfeldolgozó egységgel (15) van összekötve. 4. A 3. igénypont szerinti elektrooptikai rendszer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a fényforrást (10) egy izzólámpás fényforrás (16) alkotja, amely egy ferdén elhelyezett párhuzamosító tükörre (17) van irányítva, és a párhuzamosító tükörről (17) visszaverődő fénysugár a tárgyra (11) van irányítva. 5. A 3. igénypont szerinti elektrooptikai rendszer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a fényforrást (10) egy lézersugár generátor (22) alkotja, amely elé a keskeny párhuzamos sugárnyalábot szétterítő lencserendszer (23 és 24) van helyezve. 6. A 3. igénypont szerinti elektrooptikai rendszer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a letapogató (13) egy forgó tárcsa, amelyen nyílások vannak kialakítva. 7. A 3. igénypont szerinti elektrooptikai rendszer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a letapogató (13) egy képfelbontó csövet tártál máz. j 8. A 3. igénypont szerinti elektrooptikai rendszer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a Fresnel zóna fényerősségének mégha tározására a szintdetektomak (14) analóg szintkapuzó áramköre van. 9. A 3. igénypont szerinti elektro-optikai rendszer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a szintdetektorban (14) komparátorok (Ca-Cn) vannak, amelyekre a letapogató (13) kimenete csatlakozik, és amely komparátoroknak (Ca-Cn) különböző referenciaszintjük van. 12 3 rajz, 5 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 6 80.401.66-42 Alföldi Nyomda, Debrecen - Felelős vezető: Ben kő István igazgató
