174902. lajstromszámú szabadalom • Elektrsztatikus képérzékelő eszköz és eljárás annak előállítására
MAGYAR népköztársaság SZABADALMI LEÍRÁS 174902 Nemzetközi osztályozás: Bejelentés napija: 1974.1. 10. (CO—296) G 03 G 5/00 Amerikai Egyesült Államok elsőbbsége: 1973. VII. 11. (378 180) ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL Közzététel napja: 1979. X. 27. Megjelent: 1980. X. 31. Feltaláló: Szabadalmas: Kuehnle Manfred Rudolf mérnök, Lexington, Massachusetts Coulter Systems Corporation, Bedford, Amerikai Egyesült Államok Massachusetts, Amerikai Egyesült Államok Elektrosztatikus képérzékelő eszköz és eljárás annak előállítására 1 A találmány tárgya elektrosztatikus képérzékelő eszköz és eljárás annak előállítására. A találmány T/16 748 közzétételi számú korábbi bejelentésünkben ismertetett elektrofényképező film és előállítási eljárás tökéletesítésére vonatkozik. Ez a film lénye- 5 gében három anyagrétegből áll, az alsó réteget, a szubsztrátumot célszerűen átlátszó műanyag, a vékony fedőréteget fotokonduktív anyag, a középsőt pedig villamosán vezető, ohmikus ellenállású anyag alkotja. 10 Az említett bejelentésben ismertetett elektrofényképező film porlasztási technológiával állítható elő. A kapott termék nagy reakciósebességű, pánkromatikus elektrofényképező film, amelynek tulajdonságait valamint felhasználását az említett beje- 15 lentés részletesen leírja. A jelen találmány egy tovább tökéletesített elektrofényképező filmre és annak gyártási eljárására vonatkozik. Lényegében az összes javulást a gyártási eljárás 20 egyetlen lépése során érjük el. Ebben a' lépésben készítjük el a fotokonduktív réteget rádiófrekvenciás porlasztás útján, a találmány szerint előfeszültség alkalmazása mellett. Az így kapott fotokonduktív réteg igen tömör, és a felhasználás szempontjá- 25 ból fontos tulajdonságai minden eddigi eredményt felülmúlnak. Az előfeszítést a rádiófrekvenciás energiaszolgáltató áramkör villamos kapcsolásával biztosítjuk. Ez az áramkör a találmány szerinti niódon energiát táplál a porlasztóberendezésbe, 30 2 amelyet egy későbbi részben bővebben ismertetni fogunk. A találmány által elért javulás kiterjed az elektrofényképező film paramétereire, mint a sebesség, a feketedési görbe, az érzékenység és még számos tulajdonság. A találmány tehát egyrészt eljárás szubsztrátumot és arra leválasztott fotokonduktív, teljesen szervetlen kristályos réteget tartalmazó eszköz előállítására, amelynek során a leválasztást porlasztókamrában porlasztás útján oly módon végezzük, hogy a leválasztandó fotokonduktív anyagból levő katód és a szubsztrátumot tartó anód között plazmát gerjesztünk, amely plazma és a katód között sötét teret hozunk létre, és a porlasztást addig folytatjuk, ameddig a fotokonduktív anyagból egy kristályos réteg le nem választódik a szubsztrátumon. A találmány szerint a porlasztásnál a plazma és az anód között egy további sötét teret hozunk létre azáltal, hogy a katódot rádiófrekvenciás generátor kimenetének nagyfeszültségű pontjára, az anódot pedig a föld és a nagyfeszültség közötti előfeszültségre csatlakoztatjuk. A találmány másrészt elektrosztatikus képérzékelő eszköz, amelynek szubsztrátuma és arra a szubsztrátum földtől eltérő előfeszültségen való tartása mellett rádiófrekvenciás porlasztással közvetlenül leválasztott, teljesen szervetlen anyagú, orientált mikrokristályos szerkezetű fotokonduktív rétege van. 174902
