174427. lajstromszámú szabadalom • Elektrofényképészeti film
11 174427 12 Valamennyi anyag előre a kamrába kerül vagy elhasználódó elektródaként, vagy pedig mint gá/.ok. illetve szublimált alkotóelemek, ezek akkor kerülnek a tartály légterébe, amikor a folyamat már elkezdődött. A sztöchiometrikusan helyes arányokat könnyű betartani, ezzel tökéletes és egységes terméket biztosítva. Az előzőekben leírt jellemzők nem egyedüli jellemzői ennek a terméknek, sok más előny származik még a találmány szerinti fényvezető bevonatból. Ezenkívül a felsorolás rendjét nem szabad összetéveszteni a fontossági sorrenddel. Az ohmikus vezető 14 réteg olyan vezető réteg, aminek felvitele a 16 hordozóra, a fényvezető 12 bevonat felvitele előtt történik. Ennek elsődleges célja elősegíteni a fényvezető bevonat felszíni elektronjainak elvezetését, amikor az fotonokat fog be. Ezenkívül, ez még elősegítheti a fényvezető bevonatnak a hordozóra való rögzítését. Ez az ohmikus vezető 14 réteg sokkal vékonyabb. mint a 12 bevonat, célszerűen 500 Angstrom körüli. Ez a vastagság nem fogja befolyásolni sem az átlátszóságát, sem a hajlékonyságát a végső 10 elektrofényképészeti filmnek. Ez tulajdonképpen csatlakozást biztosít a 12 bevonat és a 16 hordozó között. Úgy funkcionál mint egy kapacitív áramkör egyik eleme a fényvezető bevonat feltöltése során, ezenkívül elvezeti a fényvezető bevonatból kiütött elektronokat. Tiszta állapotú félvezető indium-oxid megfelelő anyag a 14 réteg kialakítására. Könnyen erősíthető össze az alumínium vezető 22 elemekkel. Úgyszintén könnyen megvalósítható a porlasztása ugyanazzal a berendezéssel, amit már a fényvezető bevonat előállításánál használtunk- A felvitel más ismert módszerei nem biztosítják a sűrűség, a szilárd kötés, a kezelhetőség és a flexibilitás követelményeit. A 14 réteg és a 16 hordozó közé. közvetlenül a 16 hordozóra egy körülbelül 30-100 Angstrom vastagságú fémes 15 réteg vihető fel - amint a 4. ábra mutatja . növelve ezzel a 16 hordozó és a fényvezető 12 bevonat közötti adhéziós affinitást. Ez a IS réteg azonban általában nem szükséges. A 15 réteg anyaga fém titán lehet. Könnyen felvihető a másik 14 rétegnél használt felviteli eljárással, azaz célszerűen porlasztással, de más felviteli eljárás is használható. A 16 hordozó hordozza és mechanikusan rögzíti 12 bevonatot és a 14 réteget. Tulajdonságairól már korábban beszéltünk, de nem részleteztük őket. Mechanikai követelmény a hajlékonyság, az erősség, az átlátszóság, a felvitt rétegek tapadásának biztosítása. és ami nagyon fontos - az öregedésmentesség. Ez elsősorban mérettartást jelent, a vastagság tartását, stabilitást, amely bármely változásnak ellenáll, akár hőmérsékletváltozásból származik, akár elektromos jelenség váltja ki, amely a nyomás kamrában áll elő a felviteli eljárás során. Karcolásokkal szembeni ellenállás jó tulajdonság, amit a hordozó anyagának kiválasztásakor figyelembe kell vennünk. A hordozó anyagok egyik példájaként már említettük korábban a 0,127 mm vastag poliészter lemezt, mint kielégítőt. Ez az anyag szerves polimer. Ilyen anyagot kiváló minőségben állít elő az E. 1. duPont de Nemours Company, Wilmington, Delaware. USA, és Mylar néven hozza forgalomba. Ez az anyag belső feszültségeket tartalmaz, ami gyártási eljárásának következményei. Az ilyen feszültségeket célszerű felhasználásuk előtt eltávolítani, ezt a feszültségeltávoiító folyamatot, normalizálásnak hívjuk. Ennek során a filmet 80% relatív nedvességtartalmú körülbelül 100 “Celsius hőmérsékletű környezeti hatásnak tesszük ki körülbelül 30 percig. Az ilyen eljárás ismeretes. A hordozó anyag nem tartalmazhat megkötött gázokat, amik eltávolíthatók megfelelő kamrákban, hasonlóképpen, a lemez tökéletesen tiszta és bármilyen statikus töltéstől mentes kell legyen. Használatbavétele előtt radioaktív kezelést hajtunk rajta végre. Most annak tárgyalására térünk rá. ahogy a 10 elektrofényképészeti filmet előállítjuk. Kezdve a tökéletesen előkészített 16 hordozóval, a gyártás első lépése az ohmikus vezető 14 réteg felvitele (ami több mint egyetlen réteg vezető anyag felviteléből állhat, ha a fém titán vezető (15) réteget is beleértjük). A kívánatos felviteli módszert tekintetbe véve vákuum-kamrát használunk, és a felvitelt plazma gőzös porlasztással, rádiófrekvenciás térben végezzük. A hordozót az anódra helyezzük, vagy az anód fölött vezetjük el az előállítás során, az anód rozsdamentes acélból van és víz vagy egyéb hűtőfolyadékkal körülbelül 80 °C hőmérsékletre hűtjük. Célszerű, ha a hordozó hosszú csík, ami az anód fölött vezetődik el. az anód pedig görgő vagy dob kiképzésű. Kisméretű hordozó elemek körülbelül 5 cm2 -ig az ismert porlasztó kamrák anódjaira helyezhetők laboratóriumi munka vagy kisebb mennyiségű termelés esetén. Az ilyen berendezés katódját abból az anyagból alakítjuk ki, amiből a réteg készítendő, vagy több ilyen felhasználandó elemből. További elemek hozzáadása úgy történhet, hogy valamilyen módszerrel a kamrába juttatjuk őket. Egy kísérleti célra elvégzett példa szerint a katód félvezető minőségű indium-oxid volt. Ezt az ohmikus vezető (14) réteg felvitele esetén használtuk. A katód távolságát az anódtól a választott kamra fizikai jellemzőinek figyelembevételével megegyezően, a geometria, a használt feszültségek számításbavételével határoztuk meg. A példában említett kamra nyomását közel a 10"7 torr nyomásértékre csökkentettük. Ez természetesen már jelentős vákuum. Ezután ultratiszta argont, azaz kevesebb mint lOppm H20 és N2 tartalmút, vezettünk a porlasztó kamrába egy szervo-szelepen keresztül addig, amíg körülbelül 50 millitorr nyomás előállt. Megfelelő időpontban a rádiófrekvenciás teret bekapcsolva, az argon ionizációja elektronokat állít elő, amik a katódot bombázni kezdik, ezzel indium-oxid részecskéket választva le arról. Ezzel plazma gőzt fejlesztenek a katód és az anód között, ami ezeket a részecskéket az anód felé mozgatja, ahol a hordozó anyagra fel kell vinni őket. Ez a felgőzölés olyan sebességgel történik.'amit a kamrán belüli viszonyok határoznak meg, tipikus érték valamivel kisebb, mint 75 Angstrom másod5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 6
