173743. lajstromszámú szabadalom • Kvadrupol elektrolencse és többcélú tizenkétpólusú elektronlencse
7 173743 8 lyezett elektródák, illetve pólusok párosával (2-2, 3-3) azonos potenciálúak és a két fősík irányába eső elektróda, illetve póluspárok a munkatér tengelypotenciáljához képest azonos abszolút értékű, de elektróda, illetve póluspáronként ellentétes elő- 5 jelű alappotenciálon (Vi - +U0, V4 = —U0) vannak, a két fősík által határolt térnegyedekben pedig a közbeeső elektródák, illetve pólusok potenciálja a fősíkok felől a közöttük levő felezősíkokig azonos előjelűek és a cos 2a függvény szerint csökkenő 10 abszolút értékűek, ahol a a szóbanforgó elektróda, illetve pólus középvonala és a térnegyedet határoló egyik fősik, mint a polárkoordinátarendszer kezdősíkja által bezárt szög. 15 2. Az 1. igénypontban meghatározott elektronlencse kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy tizenkét elektródája, illetve pólusa van és a fősíkok közé eső két-két közbenső elektróda, illetve (2, 3) potenciáljának értéke a vele szomszédos alappoten- 20 ciál fele (V2 = Vt/2, V3 = V4/2). 3. Az 1. igénypontban meghatározott elektronlencse kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy tizenhat elektródája, illetve pólusa van és a fősíkok közé eső, az alappotenciálú (V!, V4) elektródával, illetve pólussal szomszédos elektródák, illetve pólusok potenciálja az alappotenciálnak mintegy 0,7-szerese. míg a közbenső - összesen négy — elektróda, illetve pólus potenciálja a tengelypotenciállal egyenlő. 4. Az 1. igénypontban meghatározott elektronlencse kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy húsz elektródája, illetve pólusa van és a fősíkok közé eső négy-négy elektróda, illetve pólus (2, 5, 3, 6) 35 potenciálja a pozitív, illetve negatív alappotenciáljától (V,, V4) eltávolodva annak mintegy 0,8—szorosa, illetve mintegy 0,3-szorosa (V2 = 0,8 V,, V5 =0,3 V,, V3 =0,8 V4, V6 =0,3 V4). 5. Tizenkétpólusú elektronlencse, amely a munkatér hossztengelyével párhuzamos alkotójú, egymással térközzel elválasztott olyan elektródákból, illetve mágneses pólusokból (1, 2, 3, 4) áll, és amelyek közül minden egymással szemben levő elektróda-, illetve póluspár (1 — 1, 2—2, 3—3, 4—4) egymással azonos potenciálú, azzal jellemezve, hogy van két-két szemben levő elektróda-, illetve póluspár (1 — 1, 4—4) irányába mutató, a munkatér tengelyén átmenő, egymásra merőleges pontosan két olyan fősík (x, y), amelyek bármelyikéhez képest a szimmetrikusan elhelyezett elektródák, illetve pólusok párosával (2—2, 3—3) azonos potenciálúak és az egyik fősík irányában levő elektróda-, illetve póluspár (1 — 1) potenciálja a kvadrupol, oktopol és dodekapol pozitív alappotenciálok összege (V! = U + V + W), a másik fősík irányában levő elektróda-, illetve póluspár (4—4) potenciálja a negatív kvadrupol, pozitív oktopol és negatív dodekapol alappotenciálok összege (V4=—U+V—W), a fősíkok között levő elektródák. illetve pólusok (2, 3) potenciáljai pedig a negatív oktopol alappotenciállal arányos potenciál és a váltakozó előjelű dodekapol alappotenciál összegei. (V2 = —pV —W, V3 = —pV +W). 6. Az 1—5. igénypontok bármelyikében meghatározott elektronlencse kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az elektródák, illetve pólusok egy vagy több, a munkatér (T) tengelyével koncentrikus henger palástszeletei. 7. Az 1—5. igénypontok bármelyikében meghatározott elektronlencse kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az elektródák a hengeres munkatér (T) sugarára merőleges síklemezek. 8. Az 1-7. igénypontok bármelyikében meghatározott elektronlencse kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az elektródák körül az elektródák átlagos potenciálján levő külön burkoló elektróda (7) van elrendezve. 1 rajz, 2 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 794297 - Zrínyi Nyomda, Budapest 4
