173549. lajstromszámú szabadalom • Berendezés munadarabok továbbítására, ionsugárnyalábbal való kezelés céljábólól
9 173549 10 pillanatba kikapcsolódik, amikor az 50 csűszódarab legfelső helyzetét eléri. Ezután a 38 tengely forgóhajtása bekapcsolódik és a 37’ kazetták kicserélődése az 51 alátéten ugyanúgy megy végbe, amint azt már leírtuk. A 68 ionsugárnyaláb (8. ábra) és a 69 ionsugárnyaláb (9. ábra), amelyek a 37’ kazetta és a 27 ablak eltérő méretei következtében képződött játéktereken át a kezelendő 37’ kazetta mögé bejutnak, a légtömör ház hátsó fala felé haladtukban a szerkezet egyetlen részével sem találkoznak. Azonkívül a légtömör 26 ház hátsó fele 66 burkolattal van burkolva (6. ábra). Ez a 66 burkolat, vagy olyan anyagból áll, amely az ionsugárnyaláb hatására enyhén szétporlad, vagy olyan anyagból, mint amilyenből a kezelendő munkadarab készül, hogy porladásterméke a munkadarab minőségét ne befolyásolja. Ezért a belső falak szétporladásából keletkező, a munkadarab minőségére veszedelmes termékek mennyisége elenyészően csekély, még abban az esetben is, hogyha a 37 kazettákat úgy kezeljük, hogy a 37’ kazetták az ionbesugárzó berendezés ütközőlapjának síkjában ide-oda mozgást végeznek. Ezáltal a nagyon jóminőségű munkadarabok előállításához szükséges körülmények biztosítva vannak. A szállítóegység munkadarabokkal ellátott 37 kazettákkal történő megrakásának intenzitása nem befolyásolja a 37’ kazetták szélei és a 27 ablak szélei közötti teret. A berendezésben vagy egyáltalán nem létezik ilyen tér, vagy nagyon kicsi és a 68 ionsugárnyaláb (8. ábra) és 69 ionsugárnyaláb (9. ábra) nagyon gyenge. Ez abból adódik, hogy a szállítóegységből, azaz a 33 dobból kioldott 37’ kazetta pontos elrendezését a 27 ablakhoz képest sokkal könnyebb betartani, mint a 15 vagy 15’ kazetták esetében, amelyek a láncos 2 szállítóegységre voltak rögzítve. (1. és 2. ábra). Ez ismét a munkadarabok minőségének javulását eredményezi. Mivel a kezelésre odavezetett 37’ kazetta (6. és 7. ábrák) a szállítóegységből, azaz a 33 dobból kerül ki és szükség szerint vagy mozdulatlanul áll, vagy ide-oda mozgást végez, a találmány szerinti berendezés tetszőleges fajtájú ionbesugárzó berendezéshez alkalmazható és nem függ az ionsugárnyaláb fajtájától (szalag alakú, rúd alakú stb.), valamint letapogató rendszerétől (egy vagy két egymásra merőleges irányban) aminek következtében a találmány szerinti berendezés alkalmazási köre nagymértékben bővül. A levehető 33 dob forgatása, a 37’ kazetta bevezetése ill. kivezetése a 33 dob sugárirányú 36’ hornyába ill. hornyából automatikusan megy végbe, névleges program szerint. Amennyiben szükség van arra, hogy a munkadarabokat a kazettákban más szög alatt kezeljük, pl. a munkadarab szembenfekvő oldalának kezelésére, a 35 keretet a 34 aggyal és a levehető 33 dobbal együtt a névleges szög körül pl. 180°-kai elforgatjuk. Ehhez a 49 kilincset a 34 aggyal hozzuk kapcsolatba, a 47 kilincset pedig a 48 reteszeléssel való kapcsolatból oldjuk. Eközben a 34 agy a levehető 33 dobbal együtt a 35 kerettel merev kapcsolatban van, azonban a 35 keret maga 00 hossztengelye körül 180°-nál kisebb szögben elforgatható. A 46 kézikerék segítségével a 35 keretet a 34 aggyal és 33 dobbal együtt a kívánt szöggel kézzel elforgatjuk. Ezután a 47 kilincset a 48 reteszeléssel hozzuk kapcsolatba, míg a 49 kilincset a 34 aggyal való kapcsolódásból oldjuk. Ezáltal a 35 keret a légtömör 26 házzal lesz összekötve, míg a 34 agy és a 33 dob a 35 keret 0’0’ kereszttengelye körül foroghat. A 35 keret ezen új helyzetében, amelyet a 3 ionsugárnyaláb MM tengelyéhez képest felvesz, a 37 kazettákba erősített munkadarabok kezelése ugyanúgy megy végbe, ahogyan azt előbb leírtuk. Ezt követően a berendezést előkészítjük a kezelt munkadarabok kivételére. A 32 fogantyúval zárjuk a 30 ajtót, az ionbesugárzó berendezés ionforrásának vákuumterét légtömören lezárjuk, a légtömör 26 ház ionterét légtelenítjük, a 64 ajtót nyitjuk, a 33 dobot a kezelt munkadarabokkal együtt a 34 agyról leoldjuk és levesszük. A 34 agyra másik 33 dobot helyezünk fel és rögzítünk, amelyet előzőleg még nem kezelt munkadarabokkal ellátott 37 kazettákkal töltünk meg. Ezután a fent leírt munkafolyamatokat ismét elvégezzük. A levett 33 dobról a kezelt munkadarabokkal ellátott kazettákat kiszedjük és olyan kazettákkal töltjük meg, amelyekben még nem kezelt munkadarabok vannak. A kezelt munkadarabokat kiveszszük és további technológiai munkafolyamatokhoz visszük. Az üres kazettákba ismét olyan munkadarabokat helyezünk, amelyeket ionsugárnyalábokkal kell kezelni. A találmány nagy lehetőségeket ad és sok műszaki probléma megoldását teszi lehetővé, amelyek nagyszámú munkadarab továbbításánál jelentkeznek amikor azokat megfelelő közegű sugárnyalábbal több oldalon akarjuk kezelni. A találmány szerinti berendezés legfőbb előnyei: sokoldalú és sokféle alkalmazhatósága, nagy teljesítménye, kis helyet igénylő, egyszerű felépítése, hosszú élettartama és üzemközbeni megbízhatósága. A találmány szerinti berendezés előnyei különösen akkor tűnnek ki, amikor azt a munkadaraboknak ionsugárnyalábbal történő kezelése céljából a munkadarabok továbbításához alkalmazzuk, mivel a berendezés segítségével a munkadarabok jobb minősége biztosítható azáltal, hogy a munkadaraboknak a berendezésben való tartózkodása alatt a kezelés során jobb körülményeket biztosítunk. A találmány szerinti berendezést félvezető készülékek sorozatgyártásánál alkalmazzuk széles körben, pl. az új haladó ionbombázással dolgozó eljárásoknál ötvözött dielektromos rétegek előállításához. Szabadalmi igénypontok: 1. Berendezés munkadarabok továbbítására ionsugárnyalábbal történő kezelés céljából, amely az ionsugárnyaláb áthaladását biztosító ablakkal ellátott légtömör házból áll és az ablak lezárására ajtaja van és ebben az ionáram ütközőlapon való eloszlásának ellenőrzéséhez szondák vannak beépítve, és amely berendezésben a kazettákban s 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 50 65 5
