173549. lajstromszámú szabadalom • Berendezés munadarabok továbbítására, ionsugárnyalábbal való kezelés céljábólól
3 173549 4 és a 18 hajtott kerék között. A 17 hajtôkerék a 19 tengelyre van erősítve, amely - a rajzon nem ábrázolt - hajtással van összekötve. A 16 lánc 20 kampókkal van ellátva, amelyekre a 15 kazettákat a kezelendő munkadarabokkal együtt fel lehet függeszteni. A kazetták rögzítési pontjai közötti távolság a láncon (l.ábra) a 17 hajtókerék és 18 hajtott kerék osztókörének egy negyede, ami által a kezelésre hozzávezetett 15’ kazettát a munkadarabokkal a 4 ablak ill. a 15” kazettát a munkadarabokkal az 5 ablak felé irányítva lehet elhelyezni. Ha a 2 szállítóegységet szakaszosan kapcsolják be, akkor a 15 kazettákat a nyitott 13 karimákon keresztül lehet betáplálni. Ezután a 13 karimát a 14 fedéllel légtömören lezárják és az 1 ház ionteréből és az ionbesugárzó berendezés kamrájából a levegőt a szükséges vákuum nagyságáig leszívják. Az ionbesugárzó berendezésben letapogató 3 ionsugárnyalábot kapnak, amely az egyik ajtó pl. 7 ajtó felé irányul. A 8 szondák révén a 3 ionsugárnyaláb szükséges sűrűségét és a sűrűség egyenletes eloszlását az ütközőlapok felületén beállítják. Ezután a 7 ajtót kinyitják és a letapogató 3 ionsugárnyalábot az 5 ablakon keresztül az álló 15” kazettára erősített kezelendő munkadarabok felülete felé irányítják. A 15” kazetta kezelésének befejezése után a 2 szállító egységet a 19 tengely a kazetta rögzítési pontjai között egy osztással eltolja és a következő 15 kazetta kerül kezelésre. A 15 kazettáknak a munkadarabokkal való cserélődő eltolása automatikusan, névleges program szerint megy végbe. A 15 kazettára erősített munkadarabok szembenfekvő oldalainak kezeléséhez a 7 ajtót bezárják, a 3 ionsugárnyalábot a 6 ajtó felé irányítják és az előbb leírt munkafolyamatot megismétlik. Az ismert berendezésnél mindemellett két munkafolyamatra van szükség, nevezetesen a 15 kazettákat a munkadarabokkal együtt bevezetik és ezeket a 15 kazettákat a 2 szállítóegység mozgatásával 180°-kai elfordítják. Ezáltal a 2 szállítóegység megválasztása, valamint a szállítóegység NN hossztengelyének iránya a 3 ionsugárnyaláb MM tengelyéhez képest behatárolt. Azonkívül az NN tengelynek okvetlenül párhuzamosnak kell lennie az MM tengellyel. Ezáltal nemcsak a kezelés céljából odavezetett 15’ és 15” kazetták kerülnek a 3 ionsugárnyaláb hatáskörébe, hanem valamennyi 2 szállítóegységre erősített kazetta, aminek következtében a kezelendő munkadarabok minősége romlik. Amennyiben a munkadarabokat kétoldalról kell kezelni, a 15 kazettát úgy kell kialakítani, hogy a kezelendő felületen ne legyenek rések vagy nyílások, amelyeken át a 3 ionsugárnyaláb a következő 15 kazettára jut. Szükség esetén még járulékos védőintézkedéseket is kell alkalmazni, pl. a kezelendő munkadarabokkal ellátott 15 kazetták között egy ernyővel ellátott 21 kazettát kell elhelyezni (5. ábra), '/agy pedig a besugárzás alatt lévő 15’ és 15” kazetták előtt egy 11 ernyőt kell elhelyezni, amelyet a 2 szállítóegység mozgása alatt el kell távolítani. Az első intézkedés esetén a berendezés teljesítménye csökken, a második intézkedéssel pedig a berendezés felépítése bonyolultabbá válik és az üzemeltetés közbeni megbízhatósága csökken. Hasonló nehézségek támadnak akkor, ha a munkadarabok kezelését a 15’ kazetta síkja és a 3 ionsugárnyaláb MM tengelye által bezárt szög alatt kell elvégezni, ha ez a szög nem 90°, mert ebben az esetben a kezelendő kazetta mögötti 15 kazetta is a 3 ionsugárnyaláb részleges besugárzásának van kitéve. A munkadarabokkal ellátott 15 kazetta kezelése a 3 ionsugárnyalábbal történik, amelynek MM tengelye az ionbesugárzó berendezés központi KK tengelyéhez képest (3. ábra) ez utóbbi vákuumkamrája falainak irányában el van tolva. Ezáltal nő a valószínűsége annak, hogy a 3 ionsugárnyaláb a légtömör 1 ház oldalfalait érinti (lásd a 22 ionsugárnyaláb a 3. ábrán), ami által ezek a falak az ionsugárnyaláb hatására szétporladnak és a berendezés munkaszakaszában a por-alakú termékek mennyisége nő, ami a kezelendő munkadarabok minőségét rontja. Azonkívül azáltal, hogy a 3 ionsugárnyaláb MM tengelye az ionbesugárzó berendezés központi KK tengelyéhez képest el van tolva, a 15’ és 15” kazetták távolsága a 3 ionsugárnyaláb 23 gyújtósíkjától különböző lesz, ami csökkenti a kezelési folyamat megismételhetőségét, ami ismét a munkadarabok minőségének romlását vonja maga után. Mivel a 4 és 5 ablakok szélei és a 15’ és 15” kazetták szélei között játék van, a 3 ionsugárnyaláb egy része (3. ábra 24 és 4. ábra 25 sugárnyaláb) a 15’ és 15”kazetták mögé hatol be. Ezek a 24 és 25 sugárnyalábok a 2 szállítóegység mentén a 14 fedélig haladnak és útjukon a szerkezet részeivel, mint pl. a 20 kampókkal, a 19 tengellyel találkoznak, amelyek az ionsugárnyaláb hatására szétporladnak. Mivel a kazetták a kezelendő munkadarabokkal együtt a 3 ionsugárnyaláb hatáskörében és a szétporlasztott terméket tartalmazó térben fekszenek, ezek a termékek a munkadarabokra juthatnak, ami azok minőségét rontja. A 2 szállítóegység 16 lánca nagy terhelésnek van alávetve, mivel arra sok (több tucat, egészen 100 db-ig) 15 kazetta van rögzítve a kezelendő munkadarabokkal együtt. Ez a tény a felfüggesztési helyeknek és ezáltal a 15, 15’, és 15” kazetták helyzeteinek szórását okozhatja a 4 és 5 ablakok külső méreteihez viszonyítva, ami által azok a játékterek, amelyeken keresztül a 24 ionsugárnyaláb (3. ábra) és a 25 ionsugárnyaláb (4. ábra) a besugárzott 15’ vagy 15” kazetták mögé behatol, megnőnek, másrészt nő annak a valószínűsége, hogy ezek a sugárnyalábok a 15 kazettákban levő munkadaraboknak nekiütköznek. A 15 kazetták megtöltése munkadarabokkal és azok kiürítése a 2 szállítóegységen történik, amely mereven be van építve a légtömör házba. Ez a művelet nagyon időtrabló és a teljesítményt nagyon csökkenti. Mivel a kezeléshez továbbított 15’ 15” kazetta áll, ezt az ismert berendezést csak korlátozott számú ionbesugárzó berendezéshez lehet alkalmazni. A berendezés nem alkalmazható olyan ionbesugárzó berendezésekhez, amelyeknél az ion5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65
