173352. lajstromszámú szabadalom • Eljárás ohmos érintkezők előállítására vékonyréteg áramkörökön
5 173352 6 A Pt-Au ötvözet katódporlasztásához célszerűen ötvözetöntecsből álló céltárgyat is használhatunk. Ilyen előbbi céltárgy működésének jó eredményeket biztosító kísérleti körülményei az alábbiak: céltárgy-alaplemez távolság: 5 cm, céltárgy feszültség: 5 1000 V, alaplemez hőmérséklet: 200 °C, kamranyomás: 2*10-3 torr argon, üzemeltetési idő: 10 perc. Szabadalmi igénypontok 10 1. Eljárás vékonyréteg áramkörökön érintkezők előállítására, amelynek során — alapréteget (1 ) készítünk elő — áramkört alkotó rétegeket (2, 3) viszünk fel 15 — katódporlasztással tapadást biztosító alapréteget (4) létesítünk — a tapadást biztosító alaprétegen (4) az érintkező zónákat (4i ) kimaratjuk — az érintkező zónákat (41) elektrolitikusan újraara- 20 nyozva érintkezőréteget (6]) hozunk létre azzal jellemezve, hogy a tapadást biztosító alapréteg (4) anyagaként 5 és 10% közötti mennyiségben platinát tartalmazó aranyötvözetet alkalmazunk, valamint hogy az érintkezőréteg (6t ) vastagságát 0,5 mikronnál kisebbre választjuk. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a tapadást biztosító alapréteget (4) 0,1 és 0,2 mikron közötti vastagságra készítjük. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az áramkört alkotó rétegeket Pt-Au ötvözet porlasztására szolgáló kamrában egymás utáni katódporlasztással visszük fel. 4. Az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a Pt-Au ötvözet katódporlasztásához ötvözetöntecsből álló céltárgyat használunk. 5. Az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a Pt-Au ötvözet katódporlasztásához arany és platina lemezekből összeállított céltárgyat használunk. 3rajz, 5 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója_________ 79.7940.66-42 Alföldi Nyomda, Debrecen - Felelős vezető: Benkő István igazgató 3
