173088. lajstromszámú szabadalom • Készülék folyékony közegek, különösen maró hatású folyadékok cirkuláltatására és a készülékkel kialakított maratóberendezés
MAGYAR SZABADALMI 173088 NÉPKÖZTÁRSASÁG LEÍRÁS Bejelentés napja: 1976. V. 19. (MA-2776) Nemzetközi osztályozás: B 41 M 3/08 Közzététel napja: 1978. VIII. 28. ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL Megjelent: 1980. III. 31. Feltalálók: Mann Gyula villamosmérnök, Polner Ödön vegyészmérnök, Budapest Készülék folyékony közegek, különösen maró hatású folyadékok cirkuláltatására és a készülékkel kialakított marató berendezés 1 A találmány tárgya olyan készülék, amely folyékony közegek, különösen finom rajzolatok vegyszeres maratására használatos marató folyadékok cirkuláltatására szolgál. Tárgya továbbá az ilyen készülékkel kialakított marató berendezés. A találmány szerinti készülék azonban nem csupán marató, hanem bármilyen folyékony közeg cirkuláltatására is alkalmas. Finom rajzolatok, mint amilyenek például a mikroelektronikában előforduló monometal és bimetal maszkok, vagy integrált mikroáramkörök vegyszeres maratására különféle berendezések ismeretesek. Ezekben a berendezésekben a maratás a maratótérbe permetezett, vagy porlasztóit marató folyadékkal, főként krómkénsawal, történik. A maratás során felgyülemlett folyadékot cirkuláltatással visszaviszik a porlasztó, vagy permetező szervekbe. A márató folyadék cirkuláltatására többnyire szivattyúkat alkalmaznak. Nagy nehézséget okoz azonban az a körülmény, hogy a marató folyadék a mechanikus működésű, többnyire fémből készült szivattyúkat, még ha korrózióálló fémből készültek is, hamarosan tönkreteszi. Készítenek ilyen szivattyúkat titán ötvözetekből is. Rendkívüli nehézséget okoz azonban az, hogy a titán ötvözetek nagyon nehezen megmunkálhatok, emellett nagyon költségesek. Műanyagból készült mechanikus szivattyúk sem felelnek meg a követelményeknek, tartósságuk szintén nagyon csekély. Javasolták már műanyagból készült, végtelen csavarszivattyú alkalmazását, ami centrifugális hatásával egyben permetező szervként is szerepel. Ennek a tartóssága sem kielé-173088 2 gítő, amellett a felszívott folyadékot nem porlasztja, hanem a porlasztottnál nagyobb cseppekben permetezi, a nagy cseppek viszont a mikrorajzolatok finom részleteit tönkretehetik. Ennek a szivattyúnak is, 5 mint minden mechanikus működésű szivattyúnak hátránya, a működésük közben fellépő rázkódás, ami ha csekély mértékű is, nagyban hozzájárul a szivattyú gyors megromlásához, és hátrányosan befolyásolja a maratás eredményét. Megkísérelték a marató folyadék 10 cirkuláltatását a parfümszórókhoz hasonlóan, levegő injektorral előidézett légritkítással felszívni és egyben poriasztani. Az ilyen szerkezettel ugyan nagyon finom porlasztás érhető el, azonban a levegővel magával ragadott és keveredett porlasztóit köd a környező 15 térbe jut, és ha onnan az emberi szervezetbe kerül, súlyos ártalmakat okoz. A találmány lényege abban van, hogy a cirkuláltatásra kerülő folyadék marató, vagy gyűjtő -1- tartálya alatt (a továbbiakban a marató tartályt is gyűjtő tar- 20 tályként említjük) egy, vagy több -2- nyomótartály van elhelyezve, amely(ek) légnemű nyomóközeget, például sűrített levegőt szolgáltató, önmagában ismert szerv -3- vezetékére van(nak) kötve. A cirkuláltatás megkezdésekor a -2- nyomótartályban lévő folyadé- 25 kot a nyomóközeg, - a továbbiakban sűrített levegő - -3- vezetékén keresztül nyomás alá helyezzük. Ekkor a folyadék a levegőnyomás hatására a -4- nyomócsőnek a -2- nyomó tartályba merülő szárán és az -1- tartályba torkolló elágázásán keresztül az -1- tartályba 30 jut. Az abban felgyülemlett folyadék visszavezetésére
