172986. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető fotondetektor vagy fényelem előállítására
7 172986 8 alumíniumantimonid anyagú félvezető szeletet (1) alkalmazunk. 7. Az előző igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az oxid vagy nitrid rétegen (2) több ablakot 5 nyitunk, és a kontaktusok (4, 5) felvitele után a szeletet (1) több részre feldaraboljuk. 8. A 7. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a feldarabolást a szeletben (1) kialakult p-n átmenet mélységénél mélyebb meza-technikájú marással, a szeletnek a kimart árkokban (6) gyémánt tűvel történő megkarcolásával és széttörésével végezzük. 9. Az előző igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a kialakított fotondetektorra vagy fényelemre szilikonlakk bevonatot viszünk fel. 3 rajz, 4 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági ét Jogi Könyvkiadó igazgatója 794137 - Zrínyi Nyomda
