172486. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető elemek előállítására
15 172486 16 kialakítása során az ámyékolórétegről (3) az első maszkolóréteget (4) az árnyékolóréteg (3) kerülete mentén az előállítandó ablak szélességének megfelelő szélességben olyan maratószerrel távolítjuk el, amely az ötvözőréteget (2) és az első maszkolóréteget (4) azonos mértékben marja, az árnyékolóréteget (3) pedig a fentieknél kisebb mértékben marja, az ablakot pedig az árnyékolóréteg (3) és az ötvözőréteg (2) szabad felületeinek szelektív maratásával alakítjuk ki. 10. A 9. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az ötvözőréteget (2) 0,5—5 súly% bóroxid tartalmú bórszilikát üvegből, az ámyékolóréteget (3) 30—95 súly% alumínium- 5 oxidot tartalmazó alumíniumszilikát üvegből és az első maszkolóréteget (4) szilíciumoxidból készítjük, a maratáshoz pedig 1—7 térfogategység folysavból, 1-3 térfogategység jégecetsavból, 5-10 térfogategység 1%-os oxálsavoldatból és 2-4 térfogategység orto- 10 foszforsavból álló maratószert használunk. 12 rajz, 26 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 784685 - Zrínyi Nyomda 8
