172486. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető elemek előállítására

17.: 4m,

Ne:I i/o! ko/i oe/i ,;i\ o/.;iv 'I 01 1 71 3M- 71 4(,0

FIE. 12 a

6

W

»\ , \ \ , e . < , \ 1

?

Z

7777'

.■'/////

%W\ \

\\ \ V\ \ V \ \ ' * \ \

/ /

y / /

7/7/

/////

Y

\—__z___J

1

i

î

ï

FIE. 12 d