172284. lajstromszámú szabadalom • Eljárás vékony hengeres rétegek mágneses paramétereinek formálására
MAGYAR SZABADALMI 172284 NÉPKÖZTÁRSASÁG LEÍRÁS Nemzetközi osztályozás: w Bejelentés napja : 1975.11. 18. (PO—584) Elsőbbsége: Lengyelország 1974. III. 4. (P-169 254) H 01 F 10/00; H 01 F 41/14 ORSZÁGOS Közzététel napja: 1978.1. 28. TALÁLMÁNYI. / # ' : HIVATAL Megjelent: 1979. V. 31. ! a 1 a j i » i ‘ Feltalálók : Dr. Przyluski Jan mérnök-docens, Liwak Roman oki. elektromérnök, Varsó, Lengyelország Tulajdonos: Politechnika Warszawska, Varsó, Lengyelország, Eljárás vékony hengeres rétegek mágneses paramétereinek formálására 1 A találmány tárgya eljárás vékony hengeres mágneses rétegek permanens mágnes paramétereinek formálására, pontosabban, a koercitív térerő és az anizotrop tér intenzitásának, valamint az anizotrop tengely irányának formálására. 5 Hengeres mágneses rétegek, amelyeket különböző tárolókban információhordozó szervekként alkalmaznak, mágneses terek és mechanikai feszültségek detektoraiként, vagy pedig logikai elemek céljára hasznosíthatók. A Hk anizotrop tér és a Hc koercitív térerő 10 intenzitásának paramétereit, valamint az anizotrop tengely irányát a mindenkori műszaki megoldástól függően, különbözőképpen állítják be. A technika állása szerint a koercitív erő terének valamint az anizotrop térerősségnek intenzitását úgy állít- 15 ják be, hogy vagy különböző összetételű és vastagságú rétegek kombinációját alkalmazzák, vagy pedig annak az alsó rétegnek simaságát választják meg megfelelőképpen, amelyre ezeket a mágneses rétegeket felviszik. Az ismert eljárások nem teszik lehetővé, hogy az 20 anizotrop térnek és a koercitív erő terének intenzitását sima alsó rétegekre felvitt mágneses réteg esetében szabályozni lehessen, mert konstans mágneses fluxust kell alkalmazni, miért is a mágneses réteg összetételének és vastagságának változatlannak kellett maradniuk. 25 Az anizotrop tengely irányának változtatását az alsó hordozóiétegre felvitt mágneses réteg vagy létegek egyes részeinek kompenzálásával végezték. Ez az eljárás a réteg vagy rétegek felvitelekor egy szélesebb (részen) tartományon belül igen körülményes, mivel a ré- 30 2 tegek felvitelekor különböző részeken, ill. tartományokban különböző kompenzációkat kell alkalmazni. Célunk az eddigi eljárások hátrányainak kiküszöbölése. Eljárást javasolunk vékony mágneses rétegek paramétereinek formálására, ahol is a koercitív erő terének intenzitás paraméterét, az anizotrop tér intenzitás paraméterét szabályozzuk, és az anizotrop tengely irányát a többrétegű mágneses hengeres struktúrák kialakításakor széles határok között változtatjuk. A találmány szerint az eljárást úgy valósítjuk meg, hogy a többrétegű struktúrát az elektromágneses felvitel folyamán úgy alakítjuk ki, hogy a gyártósoron legalább egy olyan réteget alakítunk ki, amely a kialakítandó többrétegű mágneses struktúra egyik komponensét alkotja, és ezt a réteget 30—400 °C közötti hőmérsékleten mágneses tér hatásának tesszük ki. A koercitív térerő intenzitásának és az anizotrop térerő intenzitásának növelésére egy 2500 A/m térerejű, a kerület mentén ható mágneses teret, valamint egy 2500 A/m effektiv térerejű váltakozó mágneses teret is alkalmazunk. A koercitív térerő és az anizotrop tér intenzitásának csökkentésére az axiális és a kerület mentén ható terek eredőjeképpen olyan mágneses teret hozunk létre, ahol az egyik térerőkomponens változtatható. Az anizotrop tengely irányának változtatására a tartóhuzal tengelyével konstans szögben ható mágneses teret alkalmazunk. A találmány szerinti eljárás folyamán — mint mondottuk — a kialakítandó többrétegű struktúra rétegé-172284 1
