171993. lajstromszámú szabadalom • Többrétegű negatív vagy pozitív munkafilm, elsősorban nyomtatott áramkörök gyártásához

5 171993 6 róla ibolyántúli fénnyel végzett megvilágítással és előhívással, a szakemberek számára ismert módon. A találmány szerinti többrétegű munkafilm kidolgozásaa száraz eljárással előhívható diazo érzékenyítésű kontakt-másoló filmek kidolgozásához abban hasonlít, hogy a megvilágítás mindkét film esetében ultraibolya fénnyel történik és nincs szükség sötétkamrára, mert a kidolgozás sárga mesterséges világításnál vagy szórt nappali fényben egyaránt elvégezhető. Az egyik különbség az itt említett kétféle kidolgozási eljárás között az, hogy a találmány szerinti munkafilm előhívása nedves, a diazo film előhívása száraz vagy félszáraz munkafolyamattal történik. További alapvető - és a találmányt felhasználók számára nagyon előnyös és fontos - különbség az, hogy a találmány szerinti munkafilm az alkalmazott fotoreziszt típusától függően pozitív vagy negatív képet ad, a diazo filmen pedig csak pozitív kép jön létre, negatív diazo film jelenleg még nem ismeretes. A találmány szerinti többrétegű munkafilm alkalmazása jelentős előnyökkel jár, ugyanis a kidolgozáshoz szükséges időtartam rendkívül rövid, ami különösen a kísérleti és prototípus gyártásnál nagyon kedvező. A mesterfilmről a munkafilm elkészítése hagyományos eljárással — feltételezve, hogy a szükséges ezüst-halogenid alapú fényképészeti síkfilm vagy lemez, a fototechnikai másolóberendezés, továbbá a nedves redukciós kidolgozáshoz szükséges eszközök és vegyszerek rendelkezésre állnak - folyamatos munkavégzés és gyorsított mosási és szárítási műveletek esetében is legalább egy-két órát tart, és a rövidített mosás miatt nem állítható elő tartós, jó minőségű munkafilm. Az itt említett hagyományos fototechnikai eljárás alkalmazása szükségessé teszi a látható fényspektrumra is érzékeny síkfilm-anyag, továbbá a kidolgozáshoz szükséges vegyszerek folyamatos beszerzését és tárolását, a kidolgozás pedig sötétkamrát, a látható fény tartományában is működő megvilágító berendezést, előhívó-, mosó- és fixáló kádakat, valamint szárítót igényel. Végezetül a hagyományos fototechnikai műveletek szakszerű elvégzéséhez fényképész képesítésű külön személyzet szükséges. A felsorolt okok miatt a mesterfilmek és munkafilmek hagyományos előállítása szükségszerűen térben és időben is elkülönül a nyomtatott áramkörök gyártásától annak ellenére, hogy elkészítésük a nyomtatott áramkörök gyártási folyamatának igen fontos fázisát képezi. A találmány szerinti többrétegű munkafilm megvilágítása — a fényforrás intenzitásától és a mesterfilm részeinek fedettségétől, illetve átlátszóságától függően- 0,1-2 percig, a nedves előhívás 1-2 percig, a cserzés 0,1-0,3 percig, a szárítás 5-8 percig tart, tehát a teljes kidolgozás a legkedvezőtlenebb esetben sem tart 15 percnél tovább. A találmány szerinti többrétegű munkafilm kidolgozása a fotorezisztek nyomtatott áramkörök előállítására való felhasználásához egyébként is szükséges eszközökkel, anyagokkal és berendezésekkel végrehajtható. A műveletek és eszközök azonossága következtében a munkafilmek kidolgozását a nyomtatott áramkörök gyártását végző, megfelelően betanított, de fényképész-képesítés nélküli személyzet végezheti a nyomtatott áram-5 körök gyártására szolgáló helyiségekben. A munkafilmek előállítását és a nyomtatott áramkörök gyártását tehát térben és időben szorosan kapcsolódva azonos technológiával lehet 10 végrehajtani. Az előállított munkafilm tartós, mérettartó és a megszáradás után azonnal felhasználható. A találmány szerinti többrétegű munkafilm 15 alkalmazásának további nagy előnye abban áll, hogy maga a többrétegű munkafilm - mint fototechnikai félgyártmány — előállítása is a nyomtatott áramkörök gyártására szolgáló anyagokkal és berendezésekkel, azonos helyen és 20 személyzettel, rendkívül egyszerűen, gyorsan és biztonságosan végezhető. A találmány szerinti többrétegű munkafilm anyag előállításához — a nyomtatott áramkörök gyártásához használatos fotoreziszt anyagon kívül— mindössze egy fény-25 áteresztő, mérettartó, víz- és oldószerálló, legalább 100 C°-ig hőálló műanyagfóliát — célszerűen poliészter fóliát - kell felhasználni hordozóként. Ennek felületére kell felvinni,— a nyomtatott áramkörök fényérzékenyítésére egyébként haszná-30 latos módon és berendezésben — a fotoreziszt réteget. Ez utóbbi tapadásának elősegítésére szolgál a hordozófólia felületén levő tapadásközvetítő érdesített réteg. A találmány szerinti többrétegű munkafilm — az alkalmazott reziszttől és a 35 rezisztfelhordó berendezés típusától függően — 1-6 m/perc sebességgel, szakaszosan vagy folyamatosan állítható elő, majd egyszerű vágással a kívánt felhasználási méretre darabolható. Az így elkészített többrétegű munkafilm - az előállításhoz 40 felhasznált fotoreziszt anyagra előírt tárolási körülmények között - a felhordott fotorezisztre megadott ideig — általában 6—8 hónapig — használható állapotban marad, tehát ezen az időtartamon belül munkafilmek készítésére fotokémiai 45 tulajdonságainak lényeges változása nélkül alkalmazható, ezért rendkívül nagy biztonságot nyújt sürgősen elkészítendő új, vagy pótolandó munkafilmek előállításánál. 50 A találmány szerinti többrétegű munkafilm előállítását az alábbi példákon mutatjuk be: 1. példa t 55 A szilárd fotoreziszt felhengerlésére szolgáló készülékkel, az ún. laminátorral, vizes lúgoldatban előhívható szilárd fotorezisztet (pl. Du Pont gyártmányú RISTON 310 típusjelű, vagy Thiokol 60 Dynachem gyártmányú LAMINAR A típusjelű szilárd fotorezisztet) viszünk fel poliészter műanyagfólia érdesített felületére a nyomtatott áramkörök gyártásánál szokásos módon, a szilárd fotoreziszthez tartozó poliészter műanyag védő-65 fóliával együtt. 3