171905. lajstromszámú szabadalom • Implantációs gőzölés jól tapadó rétegek és bevonatok előállítására
171905 Nemzetközi osztályozás: C23C 13/00, H 01 L 21/265, 21/425 -4 -4,SkV tf ga-z. beeresztés koncentráció 2.öi> na
/
