171878. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés munkadarabok réteges bevonására gőzfázisból való kémiai leválasztással

5 171878 6 reakció-térrel szemben a 6 örvénykamra egy 15 retesszel van lefedve, amely az ábrán nem ábrázolt rögzítő elemek útján a 13 szelvényen van rögzítve. A 6 örvénykamrában a 16 gázelosztó-, ill. gázgyűjtő-cső helyezkedik el, amely a 17 gázbevezető-, ill. gázkivezető-csorikkal van összekötve. A 16 gázelosztó-, ül. gázgyűjtő-cső több 18 furattal rendelkezik, amelyek a 16 gázelosztó-, ül, gázgyűjtő-cső hosszanti mérete mentén úgy vannak elosztva, hogy a 19 cső vége irányában létrejövő nyomásesés ellenére is a 16 gázelosztó-, ill. gázgyűjtőcső minden részén egyenletes mennyiségű reakció-gáz ki-, ül. belépését teszi lehetővé. A 18 furatok annak érdekében, hogy intenzív örvényhatás jöhessen létre, úgy vannak elrendezve, hogy a kilépő-gáz-sugár a 11 szelvény ív alakú része irányába néznek. A 18 furatok iránya a 4 reakció-tartályon és a 6 örvénykamrán átmenő 20 sugár irányához képest 45°-kal eltér. További örvényáramlás keltése céljából a 13 szelvényen több, a 6 örvénykamra teljes hosszanti mérete mentén örvénylést segítő 21 gátak vannak elhelyezve. Annak érdekében, hogy a kémiai gőzfázisból való leválasztást megoldó eljárásunkat mindenkor az optimális eljárási követelményeknek megfelelően illeszthessük, és főleg, hogy az eljárás során hőmérsékletet, a reakcióban résztvevő komponensek keverékének arányát és a reakció-sebesség előírt paramétereit betarthassuk, a 17 gázbevezető-, ül. gázkivezető-csonkok segítségével a 16 gázelosztó-, ül. gázgyűjtő-cső a 6 örvénykamrában radiális irányban eltolható. A találmány szerinti eljárás egyik foganatosításának módja és annak megvalósítására szolgáló berendezés szerkezetét az alábbiakban ismertetjük. A találmány szerinti berendezés tetszőleges kiviteli változata alkalmazásakor a szilán és ammóniák reakció-gázkomponenseket az oxigén vivőgázzal együtt 1:1:200 arányban keverjük. A komponensek keverése után a gázt a 6 örvénykamrában a 16 gázelosztó-cső útján egyenletesen osztjuk el, és intenzív örvénylő keverésnek vetjük alá. A 6 örvénykamrában levő örvénylést keltő 21 gátak a 18 furatokból kiáramló gáz-sugarakat a 13 szelvényen létrejövő örvénylés az eddigi örvényáramot erősíti. A 14 reakció-tér irányában létrejövő nyomásesés folytán a 15 retesz 23 réséből kiáramló gázfront képződik, amely önmagában erősen örvénylik. Az örvénylés igen intenzív, egyenletes az egész gázfront mentén. A 14 reakció-térben a gázfront a bevonandó 1 félvezető-tárcsákon át áramlik a 6 örvénykamra szembenlevő gázkieresztő-csonkja irányában. Az ebben a térben létrejövő gáz-nyomásesés következtében a fá-5 radt reakció-gázt egyenletesen szívatjuk ki. A reakció-gáz örvénylésének fenntartása érdekében a 6 örvénykamrák között a 23 gátak vannak elhelyezve. Az intenzív örvényelt örvénylés következtében, amelyet a rétegleválasztás egész te-10 rületén fenntartunk, a reakció-gáz igen jó hatásfokkal használható ki, ahol is meglepő módon a lamináris áramlási viszonyokon túlmenően, lényegesen javított paraméterű rétegeket vihetünk fel. 15 Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás munkadarabok réteges bevonására gőzfázisból való kémiai kiválasztással, amelynek 20 során gőz vagy gőzfázisú reakciókeverékeket hosszanti irányban viszünk fel a réteggel bevonandó munkadarab felületére, majd a munkadarabot előzetesen az előírt hőfokra melegítjük, azzal jellemezve, hogy a reakciógőzt a reakciótérbe 25 (14) való bevezetést megelőzően intenzív örvénylésbe hozzuk. 2. Berendezés az 1. igénypont szerinti eljárás megvalósítására, amelynek megközelítően hengeres alakú forgatható munkadarabtartója kon-30 centrikusán van egy radiális irányú gázbevezető és gázkivezető-nyílásokkal ellátott reakciótartályban elhelyezve, azzal jellemezve, hogy a gázbevezető és gázkivezető szervet a reakciótér (14) falába helyezett örvénykamrák (6) alkotják, ame-35 lyek a végükön zárt „U" alakú profilokkal (13) rendelkeznek; a profilok (13) belsejében, hoszszanti irányban (21) örvénylést létrehozó gátjai valamint gázbevezető és gázkivezető csonkjai (17) vannak; továbbá hogy az örvénykamrák (6) kö-40 zepében a teljes hosszúsági méretnek megfelelő hosszú, a munkadarab (2) irányába radiálisán elcsúsztatható és/vagy cserélhető gázelosztó, illetve gyűjtőcső (16) van elrendezve, amely legalább egy az örvénykamra (6) íves részének irányába 45 furatokkal (18) rendelkezik. 3. A 2. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az örvénykamra (6) gázbevezető, illetve gázkivezető részét egy gázbevezető, illetve gázkivezető csonkkal (17) 50 rendelkező cserélhető retesz (15) alkotja, amely az örvénykamra (6) nyitott oldalának fedelét képezi. 2 db rajz A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 78.6136.66-42 Alföldi Nyomda, Debrecen — Felelős vezető: Benkő István igazgató