171878. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés munkadarabok réteges bevonására gőzfázisból való kémiai leválasztással
MAGYAR SZABADALMI 171878 NÉPKÖZTÁRSASÁG LEÍRÁS ^Bj^ Nemzetközi osztályozás: ^^3« Bejelentés napja: 1974. XI. 5. (EE—2276) C 23 C 11/00 ^p^ Elsőbbsége: Német Demokratikus Köztársaság 1973. XII. 3. (WP C 23 c/175 044) ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI fflVATAL Közzététel napja: 1977. XI. 28. Megjelent: 1978. XI. 30. '''''••: -----'.-:.' 1 ,:-.;.;..-. : .'..-Feltalálók : PETERHANN Klaus oki. mérnök, Drezda, MÖLLER Rainer oki mérnök, Drezda, Német Demokratikus Köztársaság Tulajdonos: VEB Elektromat, Drezda, Német Demokratikus Köztársaság Eljárás és berendezés munkadarabok réteges bevonására gőzfázisból való kémiai leválasztással A találmány tárgya eljárás munkadarabok rétegbevonására, gőzfázisból való kémiai leválasztással, amelynek során az előírt hőmérsékletre felmelegített munkadarab bevonandó felületére a gáz vagy gőz halmazállapotú reakciókeveréket 5 haránt irányban visszük fel. A találmány tárgyát képezi továbbá az eljárás megvalósítására szolgáló berendezés is. A gőzfázisból való kémiai leválasztás egyenletessége, ill. a munkadarab felületén kialakítan- 10 dó réteg egyenletessége nagy mértékben függ attól, hogy vajon a felület minden részét a friss reakciókeverék egyenletesen éri-e. Ennek érdekében a gőzfázisból való kémiai leválasztás útján történő rétegfelvitel jó minőségének biztosítása- 15 ra már javasoltak olyan eljárást, amelynél a gáz vagy gőz fázisú keveréket a réteggel bevonandó munkadarab felületére haránt irányban vitték fel, és a munkadarab-gázforrás között olyan relatív mozgást biztosítottak, melynek következte- 20 ben valamennyi felületrész azonos mennyiségű friss, ill. részben fáradt reakció-gázkeveréket kapott. Ezt a feltételt nem lehet teljesíteni olyan esetben, amikor a réteggel bevonandó munkadarab felületével párhuzamos irányban vezetik a 25 reakció-gázt, mert már egy viszonylag rövid szakaszon belül a reakció-gáz nagy mértékben fáradttá vált. Ez a jelenség különösen nagy aktivitású gázoknál jelentkezik, ahol a gázt igen nagy sebességgel áramoltatják, hogy az említett hát- 30 rányos hatást részben kiküszöböljék. Még így is viszonylag egyenetlen paraméterű réteget kapnak. Egy további törekvés lényege abban van^ hogy az eljárás során, adott tűrés mellett lehetőség szerint minél több munkadarabot lehessen bevonni. Nagyobb adagok természetesen az eljárás gazdaságosságát javítják. Ezeknek a követelményeknek megfelelően munkadaraboknak gőzfázisból való kémiai rétegbevonására már ismeretessé vált egy olyan eljárás, amelynél a reakció-gázt több egyenként szabályozott reakció-gázárammá osztották, és ezeket a gázáramokat a réteggel bevonandó munkadarabok egy-egy sorának irányával — haránt irányban — áramoltatták. Az eljárási hőmérsékletre előmelegített munkadarabokat a gáz belépőnyílása mentén mozgatták. A reakció-gázt ezután a munkadarabok felületeivel párhuzamos irányban áramoltatták a gázkivezető nyílás felé, majd az egyenként irányított, több gázáramból álló fáradt gázt kivezették a reakciótérből. Az eljárás megvalósítására szolgáló egyik ismert berendezés forgatható hengerüreggel kialakított anyagtartó szervvel rendelkezik, amely koncentrikusan van ágyazva egy hasonlóképpen hengeres alakú reakció-gáz tartályban. A réteggel bevonandó munkadarabokat az anyagtartó szerv külső felületén, annak külső kerülete mentén több sorban lehet elhelyezni. A reakció-tartályban tengely irányban több közös vezetékből 171878 1
