171264. lajstromszámú szabadalom • Eljárás fém-oxid félvezető (MOS) tranzisztorok előállítására

Fl G. I a 12 J—./IQ t FIGIb 14 12-13a 13 / SiOJ f FIG.Ic 13a 13b 14b ip FIG.Id 16 J6c 12 I6d Si SiOc FIG.Ie 16alla-2b 17 3T m I6b -IIb 12 FIG.If II 19 FIG. Ig '?« I2c FIG.Ih 20av

(^^AÍ7l / 21 171264 Nemzetközi osztályozás: H Ol L 29/78