170862. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés félvezető eszközök és integrált áramkörök jóságának vizsgálatára
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1974. VIII. 26. Közzététel napja: 1977. IV. 28. Megjelent: 1978. IV. 30. (MO- 900) 170862 Nemzetközi osztályozás: G 01 N 27/02 G 01 N 27/50 Model Evgenia Iosifovna, rádiómérnök, Moskovskaya oblast, Khimki Savina Anna Sergeevna, rádiómérnök, Nurov Jury Lvovich, rádiómérnök, Piorunsky Alexandr Nikolaevich, rádiómérnök, Fedorov Boris Efimovich, rádiómérnök, Ivanov Vladimir Mikhailovich, rádiómérnök, Moszkva Szovjetunió Eljárás és berendezés félvezető eszközök és integrált áramkörök jóságának vizsgálatára i A találmány tárgya eljárás és berendezés félvezető eszközök és integrált áramkörök jóságának vizsgálatára, amely pn átmenetekkel rendelkező félvezető eszközök és integrált áramkörök esetleges hibáinak kimutatására alkalmas közbenső és végerősítőkben, vala- 5 mint a félvezető eszközök és integrált áramkörök ellenőrzésére alkalmazható elektronikus készülékek előállításánál, ahol a félvezető eszközöket és integrált áramköröket tartalmazó készülékeknek különösen megbízhatónak és hosszú élettartamúnak kell lenni. A talál- 10 mány alkalmas más tokozott integrált áramkörök vizsgálatára is, ahol a pn átmenetek közvetlenül nem hozzáférhetők, és csatlakozás a pn átmenetekhez csak integrált áramkörök külső kapcsaira csatlakozó és ellenállással rendelkező belső áramkörön át lehetséges. 15 Ismeretes eljárás félvezető eszközök és integrált áramkörök jóságának vizsgálatára, amely szerint a pn átmeneten váltakozó áramot bocsátanak át és meghatároznak egy olyan paramétert, amelyből a félvezető elemek, illetve áramkörök jósága kiértékelhető. 20 Ennél az eljárásnál a pn átmeneten záróirányban áramot bocsátanak át és mérik ezen átmenet áram-feszültség karakterisztikájának gradiensét, amely egy olyan paraméter, amelyből a pn átmenet felületén csatornák 25 és elektromosan vezető áthidalások jelenlétére azaz pn átmenetet tartalmazó félvezető eszköz, illetve integrált áramkör jóságára lehet következtetni. A gradiens mértékeként a pn átmeneten fellépő Uj és U2 feszültségesések különbségének viszonyát használják fel, amelyet az 30 ezen az átmeneten átfolyó ismert I] és I2 áramok okoznak, tehát: l^—U2 _ AU íj—12 ~~ "ÄT A szilícium pn átmenet áram-feszültség karakterisztikájának gradiense azonban a zárási tartományban csak hozzávetőleges felvilágosítást ad a pn átmenet hibáiról, a germánium pn átmenetet jellemző egyik telítési tartomány elvi hiánya miatt. Az áram-feszültség karakterisztika gradiensének csekély kifejező ereje következtében a szilícium pn átmenet zárótartományában a jóság ellenőrzésére az ideális áram-feszültség karakterisztikával való összehasonlítás csak igen kis mértékben hatásos. Ismeretes olyan berendezés a félvezető eszközök és integrált áramkörök jóságának vizsgálatára szolgáló eljárás foganatosítására, amely áramgenerátort — amelyre a félvezető eszköz vagy az integrált áramkör pn átmenete egy kapcsolóelemen át csatlakozik — valamint egy azzal elektromosan csatolt regisztráló készüléket tartalmaz. Ennél a berendezésnél regisztráló készülékként két tároló voltmérőt alkalmaznak, amelyek a pn átmenetre az ezen áthaladó két árammal szinkronban váltakozva vannak rákapcsolva, és a pn átmeneten az említett áramok következtében fellépő feszültségeket mérik. Ez a berendezés tehát lehetővé teszi az ismert íj és I2 áramok által okozott Uj és U2 feszültségesések meghatározását és ennek következtében az áram-feszültség 170862 1
