170687. lajstromszámú szabadalom • Eljárás éles rajzolatú ábrák kialakítására
7 170687 8 kül egyetlen művelettel megoldja a vékony fémrétegek éles rajzolatú anódos megmunkálását. Ekvipotenciális felületet biztosít a fémréteg alatt az egész anodizációs művelet folyamán, így egyszerű módon lehetővé teszi a rétegek részleges vagy teljes oxidálását, ill. a finom struktúrák kialakítását. Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás anódosan oxidálható vékony fémrétegből, előnyösen alumíniumrétegből készített, éles rajzolatú ábrák kialakítására oly módon, hogy a szigetelő szubsztrátumra önmagában ismert módon előbb egy első, anodikusan oxidálható, előnyösen a titán csoport vagy vanadium csoport féméi vagy ezek ötvözetei közül legalább egy fémréteget viszünk fel, ezután erre anyagában eltérő, de anódosan szintén oxidálható fémből, előnyösen alumíniumból az első rétegnél nagyságrendben vastagabb második fémréteget alakítunk ki, porózus oxidréteggel látjuk el, majd ezen az ismert fotoreziszt technikával rajzolatot képezünk, azzal jellemezve, hogy az első fémréteget legfeljebb 1000 Á vastagságúra alakítjuk ki, és a fotorezisztlakk által szabadon hagyott második fémréteget teljes rétegvastagságban anódosan oxidáljuk, 5 ezután — adott esetben a fotorezisztlakk réteg eltávolítása után az első fémréteget és egyben a második fémréteg szabadon maradó részét is anódosan oxidáljuk és/vagy azon termikus oxidációs utókezelést hajtunk végre. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási mód-10 ja azzal jellemezve, hogy az anodizáláshoz nem ionos jellegű nedvesítő szert is tartalmazó elektrolitot használunk. 3. Az 1—2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási 15 módja azzal jellemezve, hogy az első fémréteg anodizálásához almasav tartalmú elektrolitot használunk. 4. Az 1—3. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja azzal jellemezve, hogy az első fémréteg anódos kezelése végén termikus oxidációt is végzünk előnyösen 20 500 °C körüli hőmérsékleten oxigén és/vagy vízgőz tartalmú atmoszférában. A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 77.5445.66-42 Alföldi Nyomda, Debrecen — Felelős vezető: Benkő István igazgató
