170529. lajstromszámú szabadalom • Eljárás ultraibolya fényre érzékeny fotorezisztek megvilágosításához használatos, ezüsthalogenid- alapú filmek kétlépéses gyengítésére

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY Bejelentés napja: 1974. IX. 10. Módosítási elsőbbsége: 1976. IV. 26. Közzététel napja: 1977.1. 28. Megjelent: 1978. II. 28. (VI-1006) 170529 Nemzetközi osztályozás: G03C 5/42 Feltaláló: Reiter Árpád oki. vegyészmérnök, Székesfehérvár Tulajdonos: Videoton Rádió- és Televíziógyár, Székesfehérvár Eljárás ultraibolya fényre érzékeny fotorezisztek megvilágításához használatos, ezüsthalogenid-alapú filmek kétlépéses gyengítésére 1 A találmány tárgya eljárás ultraibolya fényre érzékeny fotoreziszttel bevont nyomtatott áramkörök megvilágításához használatos, ezüsthalogenid-alapú filmek kétlépéses gyengítésére. A nyomtatott áramkörök megvilágításához fel- 5 használható filmek ultraibolya fényben átlátszó („fehér") és ultraibolya fényben átlátszatlan („fekete") területeket tartalmaznak. Célszerű, ha a film fekete területei normál fényben átlátszóak, tehát sárgás, barnás vagy hasonló színűek, ekkor ugyanis 10 a film helyesen és pontosan illeszthető a lemezre. A normál fényben átlátszó, ultraibolya fényben azonban fekete területekkel rendelkező filmeket a filmek gyengítésével alakítják ki. A jelenleg ismert eljárás a bikromátos-sósavas 15 gyengítés. E művelet során a megvilágításhoz használatos filmet 30 g/liter káliumbikromátot és 30 ml/liter tömény sósavat tartalmazó oldatban addig kezelik, amíg a film a látható fény számára átlátszóvá válik, az ultraibolya tartományba eső 20 fényt pedig nem engedi át. E módszer hátrányai a következők: 1. Ugyanazon a filmen a különböző vastagságú és szélességű emulziórétegek különböző mértékben gyengülnek ki, a gyengítés nem lesz egyenletes. 2. A kigyengített film emulziórétege néhány napos használat után megrepedezik. 3. Folyamatos ultraibolya besugárzás hatására a film 4—5 perc alatt visszasötétedik. 25 30 4. A gyengítési időt minden filmre kísérletileg kell meghatározni. 5. A gyengítési folyamatot nem lehet biztonságosan szabályozni, az esetek többségében alágyengítésre vagy túlgyengítésre kerül sor. Az elektrotechnikában igen gyakran van szükség az ultraibolya fényre érzékeny fotoreziszttel bevont nyomtatott áramkörök megvilágításához használatos filmek egyes helyeinek szelektív, lokális gyengítésére (cseppgyengítésre). A filmek egyes helyeinek szelektív gyengítését az ismert módszer szerint (Hevesy István: „A fényképezés technikája", 332. oldal) úgy végzik, hogy 50 vegyes%-os vizes rögzítősó-oldathoz 1 : 1 térfogatarányban glicerint kevernek, a kapott pépes masszát a film gyengítendő helyeire viszik fel, majd 5-6 perc elteltével a filmet 30 vegyes%-os vizes kálium-hexaciano-ferrát(III)-oldat és glicerin , 9 : 1 térfogatarányú keverékével öblítik. Ez az eljárás idő- és munkaigényes, így nagyüzemi méretekben nem alkalmazható gazdaságosan. A találmány szerint az ismert módszerek hátrányait kívánjuk kiküszöbölni. Meglepő módon azt tapasztaltuk, hogy ha a megvilágításhoz használandó filmet 20 -130 g/liter káliumhexaciano-ferrát(III)-ot, 10-20 g/liter káliumbromidot, 0,5 - 10 g/liter ammóniumhidroxidot, továbbá adott esetben 170529