170049. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés elnyújtott formájú, hengeres kvarctárgyak folytonossági hibáinak kiküszöbölésére
, 170049 3 4 venciájú váltakozó térrel egy üvegben nagy hőmérsékletű plazmát állít elő. Folytonossági hibák alatt itt a kvarctárgy felületén , barázdák és egyéb egyenetlenségek, valamint gázzárványok értendők, de egyéb tisztátlanságok, 5 pl. víz és|vagy nem illanó szennyezések (mint pl. vas és réz) is idetartoznak. A találmány szerinti eljárás előnye, hogy alkalmazása közben a tárgynak nem szükséges forognia. 10 Továbbá ennél az eljárásnál a plazmaégő használata következtében a tárgy minden oldalán a hevítés gyakorlatilag egyenlő erősségű. A gázt lehet pl. a kvarctárgy külső oldala mentén vezetni. Eközben a tekercs nagyfrekvenciás 15 feszültségforráshoz csatlakozik, és a gázban plazmakisülést tart fenn, amelyet szükség esetén pl. segédelektróda gyújt be. A találmány szerinti eljárás egyik előnyös vál- 20 tozatánál, amennyiben a tárgy csőformájú, a gázt átvezetik a csövön, és a plazmakisülés a csőben játszódik le. Ennek a kedvező foganatosítási módnak ejőnye, hogy a legnagyobb hőmérsékletű terület a plazma- 25 ban a kvarcfal mentéri jön létre. A találmány szerinti eljárás egy további előnyös foganatosítási módjánál, amikor is a csőformájú tárgy belső átmérője 5 mm-nél kisebb, a gáz lega- 30 lább a cső és az elektromos tekercs között van jelen. Ennek az eljárásnak az előnye például a kvarcból készített szívócsonkok esetében válik világossá. Ha ezeket a csonkokat külső barázdák bontják, 35 akkor az utóbbiakkal járó tömítetlenségeket úgy lehet kiküszöbölni, hogy a csonkokat tömítőelemekkel (gumielemekkel) csatlakoztatjuk a vákuumrendszerhez. 40 Az előbb említett előnyös eljárással a csonkok külső fala tökéletesen elsimul, aminek következtében ilyen tömítetlenségek többé nem lépnek fel. A találmány szerinti eljárás egyik további elő- 45 nyös foganatosítási módjánál, amikor a tárgy alakja olyan cső, amelynek hossza nagyobb, mint valamely belőle készíteridő terméké, a csőnek azt a részét, amely a plazmaégő üzemelésekor utolsóként halad át az elektromos tekercsen, ezt követően 50 eltávolítják, úgyhogy ez a végleges termék részét nem képezi. Az utóbb említett eljárásnak az az előnye, hogy a kvarcban levő szennyeződések a tekerccsel fel- 55 hevített résszel nagyobb részt együtt vándorolnak, és végül a cső fel nem használt utolsó részében visszamaradnak, úgyhogy a kvarccsőnek a felhasználáshoz elegendő részében a szennyeződés csökken. 60 A találmány szerinti további speciális eljárásnál, amely csőformájú tárgyak előállítására szolgál, az eljárás, mint a kvarccsőhúzási folyamat része nyer alkalmazást. Itt a plazmakisülést tápláló gázt a kvarcömledéket tartalmazó kályhában vezetik a 65 kvarccsőhöz, és ezt a csövet a kályhából közvetlenül a plazmaégőhöz továbbítják. * Ennek az eljárásnak az "az előnye, hogy közvetlenül a kvarccső húzásánál olyan kvarccső nyerhető, amely messzemenően kvarc- és szennyeződés mentes. Az utóbbi eljárás egy tökéletesített foganatosítási módja esetében a plazmaégőt a kvarccsődarab egy első időtartamú húzása után gyengébb hőfejlesztésre állítják, majd ezzel a kisebb hőfejlesztéssel második időtartamú húzást végeznek, ezután a plazmaégőt ismét a nagyobb hőfejlesztésre állítják, és a húzást folytatják. A második időtartamú húzási folyamat rövidebb az első időtartamú húzási folyamatnál. Ennek a tökéletesített foganatosítási módnak egyik előnye, hogy már a húzási folyamat alatt a szennyeződések szakaszosan kiküszöbölődnek, mert abban az aránylag rövid kvarccsőben maradnak vissza, amelyet a plazmaégő második időtartamú csökkentett hőfejlesztése közben húztak. A szennyeződött kvarccsődarabokból képezik a kvarc kisülési cső ellapított lábrészét. Egy további előnyös változat szerint azokat a rövid kvarccső szakaszokat, amelyeket a kisebb hőképződés alatt húztak, a kvarccső további feldolgozásánál a felhasználandó kvarccsődaraboktól elkülönítik. E rövid kvarccsöveket ezután ki lehet selejtezni. A találmány szerinti eljárás megvalósítására szolgáló berendezésnél, amelynek plazmaégőként kialakított hőforrásában elektromos tekercs van, és el van látva gázhozzávezetéssel is, a tekercs elektromos táplálásának mértéke (intenzitása) és/vagy a gázhozzávezetés szabályozható. Ennek a kiviteli alaknak az az előnye, hogy a megfelelő időpillanatban a plazmaégő hőfejlesztését változtatni lehet, ami által a szennyeződésektől megtisztított kvarccsöveket a továbbiakban a szennyezést tartalmazó kvarccsődarabokból el lehet különíteni. Eközben a plazmaégőt vagy teljesen ki lehet oltani, vagy kisebb intenzitással lehet égetni. A továbbiakban a találmányt a példaképpen közölt rajzok alapján közelebbről ismertetjük. Az ábrák felsorolása: az 1. ábra a találmány szerinti eljárás megvalósítására szolgáló készülék vázlata, amely kvarckályhával és a kihúzott kvarccső folytonossági hibáinak kiküszöbölésére szolgáló plazmaégővel van ellátva. A 2. ábra a találmány szerinti eljárás megvalósítására szolgáló másik készülék vázlata. Ez a készülék szintén plazmaégővel rendelkezik, amely ez esetben lényegében a kvarcrudacskák, pl. szívócsonkok külső felületén előforduló barázdák kiküszöbölésére szolgál. Az 1. ábrán a közelebbről nem ismertetett módon hevített 1 kályhában folyékony 2 kvarcömledék van. A kvarcot szilárd állapotban a 3 ada-2