170039. lajstromszámú szabadalom • Eljárás vékony- és vastagréteg ellenállások értékének beállítására és elrendezés az eljárás foganatosítására

MAGTAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY Bejelentés napja: 1975. III. 03. (MU-537) Közzététel napja: 1976. X. 28. Megjelent: 1977. XI. 30. 170039 Nemzetközi osztályozás: H01C 17/16, G01R 27/16 Feltalálók: Haraszti István OKI. mérnök, Lomniczy Mária oki. fizikus, Sásdi György oki. mérnök. Terényi Zoltán oki. mérnök, Budapest Tulajdonos: Műszeripari Kutató Intézet, Budapest Eljárás vékony- és vastagréteg ellenállások értékének beállítására és elrendezés az eljárás foganatosítására 1 A találmány tárgya eljárás vékony- és vastagréteg ellenállások értékének beállítására, valamint berendezés äz eljárás foganatosítására. A fejlődés során az elektronikus ipar sok területén szükségessé váltak a nagypontosságú, nagystabilitású és nagymegbízhatóságú építőelemek. Az integrált áramkörös technika elterjedése igényli a hozzá méretben is illeszkedő passzív alkatrészek — főleg ellenállások és ellenállás hálózatok — kialakítását. Nagypontosságú, időben stabil, kis hőmér- 10 sékletfüggésű ellenállások kis méretben a szigetelőalapú integrált áramkörök megoldással valósíthatók meg. A gazdaságosan gyártható ellenállások értéktűrése ± 20%, automatikus gyártás esetén ± 10%, esetleg ± 5%. Tehát az így előállított ellenállások pontossága az elektronikus ipar számos területén felmerült pontosságú követelményeknek (0,1% ... ..0,005%) nem felel meg. Nagy pontosság megvalósítása érdekében célszerű utólagos értékbeállítás alkalmazása. A rétegellenállások utólagos beállítására felhasznált berendezések két nagy csoportba oszthatók: — szakaszos értékbeállítás, - folyamatos értékbeállítás. 25 A szakaszos értékbeállítási módszer lényege, hogy az ellenállás különböző hosszúságú szakaszai mentén soros, vagy párhuzamos tagokat iktatnak be, amelyeket a beállítás során átvágva, az ellenál- 30 lás értéke változtatható. Megfelelő számú és értékű párhuzamos tag segítségével nagy pontosság érhető el. A módszernek igen sok hátránya van. Megnövekszik az ellenállás területigénye, az alkalmazott soros és párhuzamos tagok az ellenállás nagyfrekvenciás viselkedését lerontják. A folyamat automatizálása igen nehézkes és bonyolult mechanikai berendezéseket igényel. A folyamatos értékbeállítási módszerek a következők Homokfúvásos értékbeállítási módszer Az ellenállás felületét alumíniumoxid szemcsékkel koptatják, amelyeket kis átmérőjük légsugár 15 fúvókán keresztül áramoltatnak a felületre. Ezen szemcsék az ellenállásréteget elvékonyítják és így az ellenállás értéke folyamatosan növekszik. Ez a módszer gyors, jól automatizálható, főleg vastagréteg ellenállások értékének beállítására alkalmaz-20 zák. Vékonyrétegek esetén az állítani nem kívánt elemek sérülését meggátoló árnyékolás okoz problémát. Lézeres beállítási módszer Az ellenállás felületét lézersugárral helyileg felmelegítve, az ellenállás anyagának elpárolgása érhető el. Az ellenálláscsíkból megfelelő darabot kivágva, az ellenállás értéke igen pontosan beállítható. A módszer elpnye a nagy pontosság mellett a gyorsa-170039