169943. lajstromszámú szabadalom • Többrétegű elektronikai elem és eljárás az elem rétegei közötti átvezetőréteg kialakítására

15 169943 16 8. A 4—6. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a többrétegű elem átvezető fémrétegeinek kialakítása előtt a bevonandó felületeket érzékenyítő elemet tartalmazó oldattal kezeljük. 5 9. A 4. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a többrétegű elemet a higanyionokat tartalmazó oldattal történő kezelés után olyan oldatban kezeljük, amely a többrétegű elem fémrétegeinek fémjével és a villamosan vezető 10 vékonyréteg különböző szakaszaival szelektíven reagál, és ezzel az oldattal a vékonyrétegnek a fémrétegek homlokfelületein levő pórusos szakaszait eltávolítjuk. 10. A 9. igénypont szerinti eljárás foganatosítási 15 módja, azzal jellemezve, hogy a villamosan vezető vékonyrétegre fémbevonatot viszünk' fel. 11. A 4. vagy 5. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a villamosan vezető vékonyréteg kialakítását váltakozó 20 elektromos térben végezzük. 12. A 11. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a váltakozó elektromos teret a többrétegű elem fémrétegeinek váltóáramú áramforráshoz történő csatlakoztatásával 25 hozzuk létre. 13. A 11. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a váltakozó tartalmaz. elektromos teret úgy hozzuk létre, hogy a vékonyréteg kialakítására alkalmas oldatba helyezett többrétegű elem oldalai mellé váltóáramú áramforrással összekapcsolt önálló elektródákat helyezünk. 14. A 4. vagy 5. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a villamosan vezető vékonyréteg kialakítását ultrahang alkalmazásával segítjük. 15. A 4. vagy 5. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a villamosan vezető vékonyréteget olyan oldat segítségével alakítjuk ki, amely 0,0005 - 05 mól/l 0,0005 - 0,5 mól/l 0,001 -1,0 mól/l palládiumsót, rézsót, szervetlen savat tartalmaz. 16. A 4. vagy 5. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a villamosan vezető vékonyréteget olyan oldat segítségével alakítjuk ki, amely 0,0005 0,1 0,5 mól/l 12,5 mól/l ezüstsót és ammóniát 3 rajz, 4 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 774215 - Zrínyi Nyomda