169801. lajstromszámú szabadalom • Többréteg-struktúra és eljárás a többréteg-struktúra közbenső vezetőrétegeinek előállítására
169801 7 8 A pótlólagos 1' fémréteget olyan szakasz alakjában képezhetjük ki, amely az 1 fémréteggel a többrétegstruktúra egyazon vízszintes felületével nincs összekötve. A 3a, 3b, 3c és 3d ábrákon a 4 közbenső vezetőréteg kialakítására szolgáló eljárás egyes lépéseit ismertetjük az összefüggő villamosvezető 5 fémfólia előállítása során, amelyet a fémek villamos feszültségi sorában pozitívabb fémből alkotunk, mint az 1 struktúra fémrétegének fémje. A 4a, 4b, 4c és 4d ábrákon a 4 közbenső vezetőréteg előállítására szolgáló eljárás egy másik kiviteli változatát szemléltetjük az összefüggő villamosvezető fém 6 fólia előállítása során. A többréteg-struktúra közbenső vezetőrétegeinek előállítására szolgáló eljárás első foganatosítási módjába következő: A 3. ábrán látható többréteg-struktúrát olyan oldattal telített fürdőbe merítjük, amely olyan fémionokat tartalmaz, amelyek a feszültségi sorban pozitívabbak, mint a fémréteg fémjéé. É célból az alábbi összetételű oldatot alkalmazzuk: AgN03 — 0,0005— 0,5 m/l, NH4 OH — 0,1—12,5 m/l, ill. a következő összetételű oldat alkalmazható: PdCl2 — 0,0005—0,5 m/l, CuCl2 — 0,0005—0,5 m/l, H2 S0 4 — 0,001—1 m/l, ill. az oldat a következő összetételű lehet: PdS04 — 0,0005—0,5 m/l, HCl — 0,01—1 m/l. A struktúrát az említett oldatban mindaddig kezeljük, amíg ezüstből vagy palládiumból alkotott összefüggő villamos vezető 5 fólia nem képződött. (1. 3b. ábra) Emellett az ezüst, ill. a palládium fólia úgy a fémréteg homlokoldalára, mint a többréteg-struktúra dielektrikum 2 rétegeinek homlokoldalára fölrakódik, míg ez a fólia a dielektrikum rétegek homlokoldalán monolitikus struktúrájú, míg az 1 fémréteg homlokoldalán porózus struktúrájú. Mielőtt a többréteg-struktúrát az említett oldatok egyikébe merítjük, célszerű, ha a struktúrát önmagában ismert érzékenyítő oldattal kezeljük, amely pl. Sn2+ , ill. Ti3+ ionokat tartalmaz. Ez a kezelés jelentősen gyorsítja és megkönnyíti az összefüggő villamos vezető fólia kialakulását. Ezt követően végezzük az összefüggő villamos vezető fóliának váltakozó villamos térben való kialakítását. Ebből a célból a váltakozó áramot a többréteg-struktúra külső fémrétegeire kapcsoljuk, vagypedig a fürdőbe bemerített külön elektródákra kapcsoljuk és a többrétegstruktúra ezen elektródák között van elhelyezve. Az eljárást a váltakozó villamos térben elvégezve összefüggő villamos vezető fólia képződését jelentős mértékben meggyorsítjuk. Abban az esetben, ha a struktúra külső fémrétegeit használjuk fel elektródaként, úgy az áramfolyás következtében hő képződik. Ennek kiküszöbölésére egy sereg külön elektródát alkalmazunk, amelyeket az oldatba merítünk, és úgy helyezzük el, hogy azok aktív ellenállása az oldat hőmérsékletét ne emelje. Az összfüggő villamos vezető fólia képződésének sebessége az említett oldatban az oldat hőmérsékletétől is függ. A hőmérséklet növekedése az eljárást gyorsítja. Összefüggő villamos vezető fólia előállítására szolgáló eljárást úgy is végezhetjük, hogy az oldatot és az abba 5 mártott struktúrát ultrahang térbe helyezzük. Ezt követően a többréteg-struktúrának homlokoldalait a keletkezett összefüggő villamos vezető 5 fóliával együtt olyan oldatba mártjuk, amely az 1 fémrétegek fémjével szelektív kölcsönhatásban van. Ilyen oldat 10 céljára rézből alkotott 1 fémréteg esetében a következő összetételű oldatot alkalmazzuk: CuCl2 -2H 2 0 — 10~ 3 —1,8 m/l, HCl — 10-2—3 m/l; j* illetőleg a következő összetételű oldatot alkalmazzuk: (NH4 ) 2 S 2 0 8 — 0,005—2,5 m/l, H2 S0 4 — 0,01—1 m/l; ill. a következő összetételű oldatot alkalmazzuk: 20 Cr03 — 0,005—1 m/l, H2 S0 4 — 0,01—1 m/l; ill. a következő összetételű oldatot alkalmazzuk: NH4 OH — 0,01—2 m/l, 25 (NH4 ) 2 C0 3 — 0,01—1 m/l, (NH4 ) 2 S 2 0 8 — 0,005—2,5 m/l. Ennek a kezelésnek eredményeképpen az összefüggő villamos vezető 5 fólia porózus részei az 1 fémréteg 30 homlokoldalairól elválnak, míg a monolit részek a dielektromos rétegek homlokoldalam megmaradnak. Ez villamos vezető 3 segédfólia képződését biztosítja, ahogy ezt a 3c. ábra is ábrázolja. Néhány esetben az összefüggő villamos vezető 5 fólia 35 porózus részeinek eltávolítását az említett oldatnak és az abban elhelyezett struktúrának ultrahang térben való kezelésével végezzük. Ugyanezen eljárás egy másik foganatosítási módja abban áll, hogy a villamos vezető 3 fóliát olyan oldat-40 ban hozzuk létre, amely az 1 fémréteg fémjével szelektív, és az összefüggő villamos vezető 5 fólia porózus részeivel kölcsönhatásban áll. E célból a következő összetételt alkalmazzuk: H20 2 — 3-10" 4 —9 m/l, 45 H2 S0 4 — 10~4 —2 m/l, 11. a következő összetételű oldatot alkalmazzuk: H2 0 2 — 3.10"4 —9 m/l, (NH4 ) 2 S 2 0 8 — 0,005—2,5 m/l, 50 HCl — 0,003—3 m/l; ill. a következő összetételű oldatot alkalmazzuk: • H2 0 2 — 3-10"4 —9 m/l, HCl — 0,003—3 m/l, 55 Versen-T — 0,0004—0,3 m/l. Ezután a struktúrát ebből az oldatból kiemeljük, vízzel öblítjük, majd savas oldatban pl. 10%-os H2 S0 4 oldatban pácoljuk. Az említett kezelés az összefüggő 60 villamos vezető 5 fólia porózus részeinek a struktúra 1 fémrétegei homlokoldalának teljes tisztítását eredményezi. Ezután a struktúrát a korábbiakban leírt módon alkotott villamos vezető 3 segédfóliával együtt tetszőle-65 ges elektrolitba merítjük, hogy kívánt vastagságú fém-4
