169801. lajstromszámú szabadalom • Többréteg-struktúra és eljárás a többréteg-struktúra közbenső vezetőrétegeinek előállítására

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1973. IX. 28. Közzététel napja: 1976. VIII. 28. Megjelent: 1978. II. 28. (VA—200) 169801 Nemzetközi osztályozás: H 05 K 1/04 H 05 K 3/18 -^i. Feltalálók: Kitaev Georgy Avenirovich mérnök, Ploskikh Vadim Alexandrovich mérnök, Zlatkovskaya Tatyana Nikolaevna mérnök Sverdlovsk, Szovjetunió Chernysheva Evangelina Mikhailovna vegyész, Brunov Viktor Timofeevich mérnök, Sverdlovsk, Minkov Viktor Alexeevich mérnök Moszkva, Kurbakov Viktor Georgievich mérnök Moszkva, Szovjetunió Tulajdonos: Uralsky ordena Trudovogo Krasnogo Znameni Politekhnichesky Institut imeni S. M. Kiróva, Sverdlovsk, Vtuzgorodok, Szovjetunió Többréteg-struktúra és eljárás a többréteg-struktúra közbenső vezetőrétegeinek előállítására i A találmány tárgya elektronikus készülékek kapcsoló elemeinek, különösen többréteg-struktúráknak, pl. nyomtatott áramköri lapoknak, nagyméretű integrált kapcsolásoknak, szalagoknak, stb. előállítására, valamint a többréteg-struktúrák közbenső vezetőrétegemek 5 kialakítására vonatkozó eljárás. Ismeretesek olyan többréteg-struktúrák, amelyek egymásra rétegelt fémes és dielektromos (szigetelő) rétegekből vannak összeállítva. A fémrétegeket egymással közbenső vezető rétegekkel kötik össze. Ezek fémfóliaként 10 vannak kialakítva és a dielektrikum, valamint a többréteg-struktúrák fémrétegei homlokoldalain (kiugró részein) vannak kiképezve. Az egyik ismert megoldásnál a fémes közbenső vezetőrétegek — amelyek mint említettük fémfóliák — úgy 15 vannak kiképezve, hogy azok vastagsága és villamos vezetőképessége az érintkezők helyén (kontaktusok) a fémréteg vastagságával és vezetőképességével azonosak. Mint ismeretes, fém közbenső vezető rétegek a többréteg-struktúrák fémrétegeitől szigetelőréteggel vannak 20 elválasztva. Ezeknek ellenállása lényegesen nagyobb, mint a fémréteg fémjének villamos ellenállása. így pl. oxidfóliákat, ill. vezetőlapokat alkalmaznak, melyek lehetővé teszik, hogy az egyes struktúrákban levő fémrétegek közötti villamos ellenállás értéke nagyobb le- 25 gyen, ugyanakkor a struktúra mechanikai szilárdsága csökkenjen. Az említett szigetelő rétegek kialakítása feltételezi a közbenső vezetőrétegek előállítására alkalmazott önmagában ismert eljárás alkalmazását. 30 A többréteg-struktúrák fém közbenső vezető rétegének előállítására már ismeretes egy olyan eljárás, amely szerint egymást követően fém- és dielektrikum rétegeket helyeznek egymásra villamos vezető segédfóliák alkalmazásával, amelyeket a dielektrikum réteg és a fémrétegek felületére visznek fel, amelyet fémfólia elektrolitikus leválasztásával metallizációs eljárásként állítanak elő. Ennek az ismert eljárásnak a lényege abban van, hogy oldatokból árammentes eljárással fémfóliát csapatnak ki a metallizálandó dielektrikum réteg és fémrétegek felületére. Az oldat redukciós anyagot tartalmaz. Ezt követően viszik fel elektrolitikus eljárással a fémfóliát, amelynek alkotóeleme leggyakrabban réz. A rezet réz komplex sóinak alkáli oldataiból választják ki, míg redukáló anyagként formaiint használnak. Ritkábban alkalmaznak segédfóliaként nikkelt, kobaltot, amit foszfor segítségével visznek fel különösen ezen fémek savanyú sóoldataiból fémkicsapás útján hipofoszfit redukáló anyag alkalmazásával. Még ritkábban fordul elő, hogy a segédfóliát ezüstből vagy palládiumból készítik, amelyet ezen fémek sóoldataiból árammentes kiválasztással nyernek és a redukáló anyagot oldat alakjában tartalmazzák. Ismeretesek villamos vezető segédfóliák kialakítására olyan eljárások, amelyekkel a metallizálandó fém vagy dielektrikum rétegek felületére villamos vezetőképességű ragasztószert vagy lakkokat visznek föl. Villamos vezető segédfóliáknak fémsókból redukáló anyag útján való fölvitele esetén pl. réz, ezüst, stb. árammentes kiválasztással a többréteg-struktúra segédfóliája 169801 1