169775. lajstromszámú szabadalom • Eljárás fémellenállásréteg szubsztrátumon való előállítására
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1974. I. 4. (Sí—1373) Német szövetségi köztársaságbeli elsőbbsége: 1973. I. 5. (P 23 00 481.1) Közzététel napja: 1976. VIII. 28. Megjelent: 1977. XII. 31. 169775 Nemzetközi osztályozás: H 01 C 17/14 Feltalálók: DR. ENGL Alfréd vegyész, Regensburg HEINE Günther fizikus, Regensburg Német Szövetségi Köztársaság Tulajdonos: Siemens Aktiengesellschaft, München, Német Szövetségi Köztársaság és Nyugat-Berlin Eljárás fémellenállásréteg szubsztrátumon való előállítására A találmány valamely szubsztrátumon ellenállásrétegek előállítására szolgáló fémezési eljárásra vonatkozik. Az eljárás során a leválasztandó fém legalább egy illó vegyületéből és valamely hordozó gázból álló gázkeveréket áramoltatunk a 5 szubsztrátum körül, vagy a leválasztandó fém legalább egy vegyületét tartalmazó oldattal vesszük körül a szubsztrátumot, vagy pedig olyan szubsztrátumból indulunk ki, amelyen már rajta van egy ilyen oldatból előzőleg rászárított filmréteg. 10 A fémekből, illetve azok ötvözeteiből előállított ellenállásrétegeknek különféle előnyei vannak a hagyományos szén-ellenállásrétegekkel szemben. Ezek közé tartozik a fokozott hosszúidejű stabilitás és a kis hőfoktényező. Ezeket a fémrétegeket eddig elő- 15 nyösen nagyvákuumban gőzölögtették vagy porlasztották valamely szubsztrátumra. Ezenkívül ismeretesek olyan eljárások is, amelyeknél vizes vagy nem vizes oldatokat alkalmaztak. A vákuumos eljárások mind költségesek, mivel sok készülék szükséges hoz- 20 zajuk. Az eddig ismert oldattal dolgozó eljárások a szórást és a rétegvastagságot tekintve csak nehezen voltak irányíthatók, illetve reprodukálhatók. Ezért már próbálkoztak azzal, hogy illó nehézfémvegyületek, így például karbonilok, acetilacetonátok, 25 ciklopentadienilek, alkilok stb. keverékéből hőbontással előírt összetételű ellenállásrétegeket válasszanak le. A gázfázisból történő leválasztási eljárásnak megvan az az előnye a folyadékokkal dolgozó eljárással szemben, hogy a bontási hőmérséklet alkal- 30 inas megválasztása esetén a leválasztott réteg összetétele a gázfázis összetételével nagyon pontosan beállítható, míg az eddig ismert oldatos eljárásoknál a réteg összetétele nemcsak a koncentrációviszonyoktól, hanem a különböző bomlási energiáktól, ill. bomlási potenciáloktól is függ. A gázfázisból való leválasztásnak megvan még az az előnye is, hogy a leválasztási sebesség, és ezzel együtt a rétegvastagság pontosan beállítható. Ezeket az előnyöket az oldatból történő leválasztás csak akkor nyújtja, ha térbelileg élesen körülhatárolt túlhevítéssel, vagy egy rászorított filmréteg közbensőfokozat alkalmazásával hajtjuk végre. A gázfázisú eljárásnál az illó nehézfémvegyületet célszerűen szerves vagy szervetlen hordozógáz és/vagy vákuum segítségével juttatjuk a reakciótérbe. A találmány szerinti bármely eljárással előállított ellenállásréteg 20% mennyiségig bezárólag idegen nemfém atomokat is tartalmazhat a tulajdonságok megjavítása érdekében. Ezzel a hosszúidejű stabilitás, a mechanikai tulajdonságok az átmeneti ellenállások és a dörzsállóság javulnak. Ez a körülmény különösen a változtatható ellenállások esetén nagy jelentőségű. Az idegen atomok bevitele a következő módokon történhet: a) Olyan nehézfémvegyületet választunk, hogy a komplexképző bomlásakor a kívánt idegen atomok beépíthetők legyenek. Erre példa az acetilacetonátból képződő oxigén. b) Gáz fázisból vagy oldatból, illetve film réteg-169775 1
