169621. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és készülék villamos ellenálláselem előállítására
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1973. VIII. 3. Német szövetségi köztársaságbeli elsőbbsége: 1972. VIII. 4. (P 22 38 557.5) Közzététel napja: 1976. VII. 29. (Sí—1334) Megjelent: 1977. XII. 31. 169621 Nemzetközi osztályozás: H 01 C 17/00 Feltalálók: Dr. Engl Alfred oki. vegyész, Regensburg Marth Kurt oki. fizikus, Regensburg, Német Szövetségi Köztársaság Tulajdonos: Siemens Aktiengesellschaft, Berlin und München, München, Német Szövetségi Köztársaság és Nyugat-Berlin Eljárás és készülék villamos ellenallaselem előállítására i A találmány tárgya eljárás és készülék villamos ellenálláselem előállítására, amely szigetelő anyagból levő hengeres vagy kúpos mag felületére tapadó vezetőrétegből áll, amely vezetőréteget először a magot körülvevő gyűrű alakjában viszik föl és azután a vezetőréteget 5 — például a gyűrű egyik szélétől a másikig terjedő — csavarvonal mentén a vezetőréteg villamos pályaellenállását a két szélén elhelyezett, illetőleg még elhelyezendő elektródák között megnövelő barázdával látják el. Az ilyen eljárás, mint ismeretes, ún. „csavarvonalas 10 rétegellenállást" eredményez, amilyent például a 735 889 sz. brit szabadalmi leírás ismertet. A legtöbb esetben ezek az ellenállást növelő barázdák olyan mélyek, hogy teljes hosszukban elérik a szigetelő magot. Ha azután a barázdát a gyűrű alakú vezetőréteg egyik szélétől a 15 másik széléig érő csavarvonalban megszakítás nélkül vezetik (ún. „teljes beköszörülés"), úgy a teljes vezetőréteg fel van bontva. A vezetőréteg, amely előnyösen rápárologtatással vagy pirolitikus leválasztással vihető fel a szigetelő anyagból levő mag felhevített felületére, 20 reakciógáz által szállított rétegképző anyagból, különösen szénből, vagy fémből vagy pedig félvezetőből, vagy pedig azáltal vihető fel, hogy a magot fémfürdőbe merítik, vagy folyékony fémmel beszórják, ezáltal végül is ugyancsak csavarvonalas alakot vesz fel. A — teljes bekö- 25 szörüléssel csavarvonalakra alakított vezetőpályát képező — vezetőréteget — ha eddig még nem történt meg — végül mindkét végén egy-egy csatlakozóelektróddal látják el. Nyilvánvaló, hogy egy gyűrű alakú ellenállás rétegnek 30 ezt a csavarvonalas kialakítását sorozatgyártásnál arra is fel lehet használni, hogy az először felvitt gyűrű alakú vezetőréteg kezdeti R0 ellenállás értékének szórását ki lehessen egyenlíteni és ezen szórás ellenére a kapott ellenálláselemeknél egységes Re végértéket lehessen kapni. Ezt különösen egyszerűen lehet biztosítani akkor, ha átmenő csavarvonal-kialakítást, tehát ún. „teljes beköszörülést" kívánnak végezni. Ebben az esetben a következő összefüggés érvényes: R»:R„ D2 : sb. Itt 71 a Ludolph-féle szám, D a csavarvonal alakú spirális átmérője, s a spirális emelkedések és b a csavarvonal kialakítása által keletkező vezetőpálya szélessége. Ezen képlet érvényességének feltétele, hogy D, s és b homogének legyenek. Ezen képlet egyik alkalmazási lehetősége abban áll, hogy miután a gyűrű alakú vezetőréteget felvitték az egyes szigetelőmagokra, a gyártásnál először a kezdeti R0 értéket állapítják meg egyedileg, majd ezen képlet szerint meghatározzák a kívánt Re végérték eléréséhez szükséges s, ill. b értéket és végül mindegyik ilyen gyűrű alakú vezetőréteget a mindenkor szükséges s (ill. b) értékkel csavarvonal alakban beköszörülik. Nyilvánvaló, hogy az ilyen eljárás igen költséges. Hogy az éppen ismertetett eljárásnál az s érték költséges beállítását megtakarítsák, az előforduló R„ értékeket különböző tűréstartományokra osztják és minden egyes tűréstartomány számára egy kötelező R0 értéket választanak, ehhez meghatározzák a hozzátartozó s értéket és 169621 1
