169542. lajstromszámú szabadalom • Eljárás geometriai alakzatokból álló rétegnek egy szubsztrátumon való kialakítására villamos vezető filmanyag felgőzölögtetésével vagy porlasztásával
OCM) k^Q^-O^D^ Fig. 4 b Fig. IC 1 i \ ' ! \ i \ / -6 -8 >1 / —f— *f 7 f/y. 2
/
