169542. lajstromszámú szabadalom • Eljárás geometriai alakzatokból álló rétegnek egy szubsztrátumon való kialakítására villamos vezető filmanyag felgőzölögtetésével vagy porlasztásával

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1972. VIII. 10. (HO—1506) A bejelentés elsőbbsége: 1971. VIII. 24. (WP C 23 c/157 282) Német Demokratikus Köztársaság Közzététel napja: 1976. VII. 28. Megjelent: 1977. augusztus 169542 Nemzetközi osztályozás: C 23 C 13/00; H 05 K 3/14 Feltalálók: Tulajdonos: BOLLINGER Helmut mérnök, Drezda, CORNELIUS Hans-Dieter oki. VEB Hochvakuum Dresden, mérnök, Drezda, ELBE Detlef oki. vegyész, Hormersdorf, FLEISCHER Drezda, Német Demokratikus Werner oki. mérnök. Drezda, Dr. GÖRING Elimar oki. mérnök, Drezda, Köztársaság NAUMANN Lothar mérnök, Drezda, PETZOL.D Klaus oki. fizikus, Dr. rer. nat. SCHWENKE Wolfgang oki. vegyész, Drezda. Német Demokratikus Köztársaság Eljárás geometriai alakzatokból álló rétegnek egy szubsztrátumon való kialakítására villamos vezető filmanyag felgőzölögtetésével vagy porlasztásával A találmány tárgya eljárás geometriai alakzatokból álló rétegnek egy szubsztrátumon való kialakítására villamos vezető filmanyag felgőzölögtetésével vagy porlasztásával. Már ismeretesek olyan eljárások, amelyeknél maszk céljára olyan max 0,3 mm vastag fémfóliát alkalmaznak, amelynek anyaga előnyösen bronz vagy acél. A felgőzölésnél használt maszkokat a vékony filmréteg és nyomtatott áramköri technikában használják, ahol a legritkább esetben alkalmaznak csupán egyetlen maszkot. Különösen geometriailag különbözőképpen futó áramvezető szálak esetén bizonytalan az ilyen maszk, mert az széteshet. Ez okból osztják a maszkokat több részre, majd az egyes maszkokat a felgőzölési művelet során szubsztrátumon sorjában a kívánt helyen rögzítik. A maszknak több részre való osztása gyártási szempontból hátrányos, mert az az átfutási időt növeli és rögzítésnél technológiai nehézségeket okoz. Egy további nehézség az, hogy az egyes maszkkivágások összeköttetési helyeinél érintkezési bizonytalanságok léphetnek fel. A találmány célja egyrészt az említett hátrányok kiküszöbölése, és olyan eljárás kialakítása, amely lehetővé teszi, hogy a technológiai folyamat során az eddiginél bonyolultabb geometriai alakzatokból álló rétegeket lehessen a szubsztrátumra felvinni. A találmány szerint a feladatot úgy oldjuk meg, hogy a, felviendő anyagsugarat akár felgőzöléssel, akár katódporlasztással olyan szitaszövetből alkotott maszkon vezetjük át, amelyre előzetesen a geometriai alakzatból álló réteget 5 vittünk fel, és e maszkot a szubsztrátumra fektetjük. A szubsztrátumot a maszkkal a sugárforráshoz képest relatív mozgásban tartjuk a gőzölés vagy a porlasztás során. A találmány szerinti eljárás megvalósítására 10 egy olyan szitaszövetet alkalmazunk, amely előnyösen fémből van, és amelyre fotokémiai eljárással tetszőlegesen geometriai alakzatú réteget vittünk fel. E rétegeknek nyomtatott áramköri lapokon való kialakítására a vá-15 lasztott szitafinomság értéke 60—100 «m. A szita huzal átmérője pedig 30—50 um. Minél vékonyabb a szitaszövet, annál pontosabban lehet a maszkot kialakítani. A fotókémiai réteget a legtöbb esetben negatív alakban visszük fel, azaz 20 azokon a helyeken, amelyeken a szubsztrátumot le kívánjuk csapatni, a szitamaszkot fedetlenül kell hagyni. Előnyös, ha a fotokémiai réteget, mint magát a csupasz szövetet, védőréteggel, például krómmal látjuk el. Ezzel azt 25 érhetjük el, hogy a maszkot — megfelelő használat után könnyebben tudjuk regenerálni, például olyan módon, hogy a felvitt anyagot lemaratjuk, ügyelve azonban arra, nehogy a maró oldattal szemben ellenálló védőréteg károsodást 30 szenvedjen. A vákuumgőzölési technika alkal-169542