169014. lajstromszámú szabadalom • Eljárás gáztöltésű lézercsövek gáztöltésétől függő paramétereinek adott tűréshatárok között való tartására és/vagy optimalizálására

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY 169014 •áÉfo Nemzetközi osztályozás: vCnf Bejelentés napja: 1973. XII. 18. (AA-761) H 01 S 3/22 l^P Módosítási elsőbbsége: 1974. XI. 26. (2.-4. igénypontok) ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL Közzététel napja: 1976. IV. 28. Megjelent: 1977. V. 31. /•••"'•"* ' Feltalálók: Ádám Ferenc villamosmérnök 60%, Lupkovics Gábor fizikus 40%, Budapest Tulajdonos: Magyar Optikai Művek, Budapest Eljárás gáztöltésű lézercsövek gáztöltéstől függő" paramétereinek adott tűréshatárok között való tartására és/vagy optimalizálására 1 A találmány tárgya eljárás gáztöltésű lézercsövek gáztöltéstől függő paramétereinek adott tűréshatárok között való tartására és/vagy optimalizálására, amelynek során a gáztöltésre előkészített lézercsövet vákuum- és gáztöltő rendszerhez csatlakoz- 5 tatjuk és a végleges gáztöltés előkészítő technológiai műveleteit elvégezzük. Lézercsövek hagyományos módon történő gyártásánál miután a lézercsöveket a gáztöltésre elő- 10 készítették, a gáztöltést megkezdik, és az egyes gázkomponensek adagolását az előírt nyomás eléréséig folytatják. Az előírt nyomásértékeket kísérleti vagy tapasztalati úton határozzák meg. A lézercsövek elektromos paraméterei ugyanis többé-kevésbé ls szoros kapcsolatban vannak az egyes gázösszetevők nyomásával. Az így gyártott lézercsövek tényleges elektromos paraméterei ezért a nyomásból származtatott értékek lesznek, és tűrésük illetve szórásuk a nyomásmérés pontosságától, az előírt nyomás és az 20 elérhető elektromos paraméterek között fennálló kapcsolat szorosságától és egyértelműségétől, valamint az etalon és a tényleges gyártott lézercsövek azonosságának mértékétől függ. Ebből a közvetett kapcsolatból következik, hogy 25 az előírt nyomás alapján töltött lézercsövek selejtszázaléka megengedhetetlenül magas lesz, és a gáztöltést követően szükségessé válik a lézercsövek elektromos paraméterek szerinti osztályozása is. Bár a selejtesnek nyilvánított lézercsövek egy részét 30 utólagos műveletekkel vagy típusváltoztatással használhatóvá lehet tenni, ezen megoldások kielégítőnek és gazdaságosnak nem tekinthetők. A gáztöltésű lézerek gáznyomástól függő elektromos paramétereit a gyújtási feszültség, az égési feszültség, az égési áram, a differenciális ellenállás és a sugárzási teljesítmény képezi. Példaképpen megemlítjük, hogy hagyományos gyártási eljárásnál, McLeod manométeres nyomásméréssel rutinszerűen ellenőrzött gáztöltésnél az elektromos jellemzők szórásképe olyanra adódott, hogy a lézerműködésre képes daraboknak csak mintegy 20%-a felelt meg az előírt értékeknek. A selejt például abban nyilvánult meg, hogy az optimális gerjesztőáram 30-50%-kal kisebb volt a követelményeknél, és ebben a munkapontban a lézert a rezonátor és/vagy a tápegység konstrukciós megváltoztatása nélkül nem lehetett üzemben tartani. Selejtesek voltak az olyan lézerek is, amelyek az előírt 5 kV gyújtási feszültség helyett csak 25 kV feszültséggel gyújthatok be. A tényleges selejtszám a fentiekben közölt értékeknél még kedvezőtlenebb volt, mivel a közölt százalékos értékek a lézerműködésre alkalmas darabok, és nem az összes gyártott darab számához voltak viszonyítva. Ismertek már olyan gáztöltési módszerek, amelyeknél az elektromos paraméterek szórását a nyomásmérés pontosságának fokozásával próbálták csökkenteni. A precíziós nyomásmérés önköltségnövelő és a termelékenységet csökkentő hatása 169014