168816. lajstromszámú szabadalom • Síkcsiszoló és tükrösítőgép 300 mm-nél nagyobb átmérőjű tárcsák nagysimaságú és alakhű előállítására

5 168816 6 d) szemcsefinomító feszültségmentesítő hőkezelés, 120C°-on 24 órán át, e) a tárcsa egyik oldalának síkcsiszolása ráhagyássá, (bázisfelület a simító esztergáláshoz felületi érdesség 0,5-1 ju), f) a tárcsa másik oldalának és furatának simító esztergálása. Befogás, befogó készülékben a külső átmérőn a bázis felületre tájolva (kész méret: 0 317,5 + 0,02 x 0 80 H6 x 9,03 ± 0,01). Az előkészítő műveleteket ismert forgácsoló és csiszoló eljárással végezzük. A csiszolólap készítésénél kiindulásul <j> 600 mm átmérőjű v = 4Ömm vastagságú öv. 22 anyagú porozitásmentes, hántolt felületű csiszolólapot használunk. A csiszolólapot egy művelettel, SIC 160 csiszolószemcse és glicerin közel 1 : 10 arányú keverékének felhasználásával, egy ellenőrző lappal, mint mesterdarabbal történő összecsiszolással készítjük. A csiszolást addig kell folytatni, míg a csiszolólap felületi simaságának mérőszáma a 0,1— 0,5 (i, a felület hullámossága az 1 ju/lOOmm értéket el nem éri. A megmunkálandó munkadarab előkészítő műveletei, valamint a csiszolólap készítése után kerül sor a találmány szerinti géppel a végleges megmunkálásra, a kész méretre történő csiszolásra. A befejező csiszoló műveletnél alkalmazott csiszolóanyag szilíciumkarbid (SIC) pornak 160, 300, 600, 1000-es finomsági fokozatai glicerinbe ágyazva. Az előállított csiszoló massza előnyös összetétele: 1 g SiC, 10 g glicerin. Befejező csiszoló műveletek: a) Elősimítás: a megmunkált és előcsiszolt munkadarabot 160-as csiszolóanyaggal bevont csiszolólapra helyezzük, majd ráhelyezzük a gázpárnás térrel ellátott burkolatot, a gépet nyomás alá helyezzük, beállítjuk a csiszoló nyomást, (mely előnyösen 0,2-1 atm), majd —előnyösen hurkolt— cikloid pályán 30—40 cm/sec. sebességgel mozgatva a burkolatot, a síkcsiszolást a munkadarab mindkét felületén addig végezzük, amíg a felületi simaság — optikai felületi simaságmérővel történő — közbenső ellenőrzése során a 0,5-0,4 mikront és a névleges méret v = 9,02 mm értéket el nem éri. b) Műveleti tisztítás: Forróvizes, majd ezt követő triklóretilénes lemosás a munkadarab mindkét felületén, és egyéb felületein, valamint a csiszolólapon és a burkolaton. c) Simítás: A 300-as csiszolóanyaggal bevont csiszolólapra helyezett munkadarab mindkét felületét az a) műveletben leírtak szerinti gázpárnás burkolatban 30-40 cm/s sebességgel -előnyösen hurkolt — ciklois pályán vezetve a csiszolást addig végezzük, míg az ellenőrző mérés során a felületi simaság értéke a 0,4-0,3 ju, és a névleges méret a v = 9,0 mm értéket el nem éri. 5 d) Műveletközi tisztítás: A b) művelet szerint. e) Utósimítás: 10 A 600-as csiszoló anyaggal bevont csiszolólapra helyezett munkadarab mindkét felületét az a) műveletben leírtak szerinti gázpárnás burkolatban 30-40 mm/sec sebességgel -előnyösen hurkolt-15 ciklois pályán vezetve a csiszolást addig végezzük amíg az ellenőrző mérés során a felületi simaság értéke a 0,3-0,2 ju, és a névleges méret a v = 9 ± 0,01 mm értéket el nem éri. 20 f) Műveletközi tisztítás: A b) művelet szerint. s) Méretre csiszolás: 25 ' 1000-es csiszolóanyaggal bevont csiszolólapra helyezett munkadarab mindkét felületét az a) műveletben leírtak szerinti gázpárnás burkolatba 30-40 cm/sec sebességgel - előnyösen hurkolt -30 ciklois pályán vezetve a csiszolást addig végezzük, amíg az ellenőrző mérés során a felületi simaság értéke a 0,l-0,8ju, a felületek hullámossága a ± 1 /x/100 mm, és párhuzamossága a ± 1 ju értékeket el nem éri. 35 A találmány szerinti eljárás és síkcsiszológép alkalmazásával tetszőleges alakú -a leírásban szereplő kemény alumínium ötvözetű (Al, Mg, Si) számítógép memóriatárcsák anyagától eltérő 40 anyagú- munkadarabok sík felületeinek igen finom csiszolása is megvalósítható. A csiszolási műveleteknél alkalmazott gázpárnás burkolat három feladatot lát el: 45 1. a tárcsa befogását tájolt helyzetben, miáltal a fokozott egyenletes felfekvést elősegíti, valamint a felületek párhuzamos helyzetét biztosítja, 2. légpárna kialakítása a munkagáz bevezető, 50 szabályozó és ellenőrző szerkezetek segítségével biztosítja a munkadarab egyenletes, feszültség és felületi sérüléstől mentes leszorítását a csiszolólapra, 3. a munkadarab hűtése biztosítja, hogy a 55 csiszolási hőmennyiség egyenletes, intenzív elvezetést nyerjen. Műveletközi és befejező ellenőrző mérések: 60 Tekintettel arra, hogy a piezoelektromos felületi simaságmérő műszernél a letapogató fej mechanikus kapcsolatban végzi a mérést, és 0,1 ju-nál durvább sérülést okoz, ezért a felületi simaság és alakhűség ellenőrző méréseket optikai interferométerrel kell 65 elvégezni. 3