168816. lajstromszámú szabadalom • Síkcsiszoló és tükrösítőgép 300 mm-nél nagyobb átmérőjű tárcsák nagysimaságú és alakhű előállítására

MAGTAB NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY Bejelentés napja: 1973. III. 01. (MA-2455) Közzététel napja: 1975. XII. 29. Megjelent: 1977. II. 28. 168816 Nemzetközi osztályozás: B 24 B 37/00, B 24 B 31/00 J ICIÍCEt ^ Feltalálók: Zelena László gépésztechnikus 70%, Muzsnay László gépészmérnök 15%, Péter István gépészmérnök 15%, Budapest Tulajdonos: Magyar Tudományos Akadémia Központi Fizikai Kutató Intézete, Budapest Síkcsiszoló és tükrösítőgép 300 mm-nél nagyobb átmérőjű tárcsák nagysimaságú és alakhű előállítására A számítógép-memóriák egyik nélkülözhetetlen eleme a memória-tárcsa, melyen lebegtetett film alapanyagon mágnesréteg van, vagy más megoldásoknál magára az alaptárcsára viszik fel vékony rétegben a mágneses anyagot, mely a beírt jeleket tárolja és lehetővé teszi a jelek kiolvasását. A mágneses anyagnak az alaptárcsára történő közvetlen felvitele esetén az alaptárcsával szemben támasztott felületi simaság és alakhűségi követelmények olyan szigorúak, melyeknek még az eddig ismert legfinomabb felületet adó csiszolási eljárásokkal és berendezésekkel sem lehet eleget tenni A feladat megoldását megnehezíti az a tény, hogy az alaptárcsa anyaga előnyösen könnyűfém ötvözet lehet, melynek forgácsolási tulajdonságai általában nem kedvezőek. A találmány célja ezen speciális, célszerűen alumínium ötvözet alapanyagú memóriatárcsa finom felületi megmunkálási technológiájának eredményes és egyben gazdaságos megoldása. A memória alaptárcsa előírt felületi simasága és alakhűsége igen magas követelményeket támaszt a felületi megmunkálási eljárással szemben, ugyanis a mágnesezhető réteg felvitele után a megkívánt felületi simaság mérőszámának legalább 0,1 mikronnak kell lennie, ezért az alaptárcsa felületi simaságának 0,1—0,08 mikronnak, vagy még ennél is jobbnak kell lennie. Ezenkívül a felület alakhűségével szemben is szigorú előírások betartása szükséges, így a felület hullámossága nem haladhatja meg a ±1 ju/100 mm értéket. 5 Ezenkívül a homlokfelületek párhuzamosságát a ±1 ju/100mm értéken belül kell tartani. A memóriatárcsa felületeinek ilyen szigorú követelményeket kielégítő megmunkálását nehezíti az a tény, hogy a felviendő mágnesréteg vastagsága !0 0,3 ju, így a rétegvastagság homogenitása érdekében kívánatos a 0,1-0,08 \i felületi simaság biztosítása. Az előírt felületi simaság értékét nem lehet előállítani a hagyományos finomfelületi meg-15 munkálási eljárásokkal, mint pl. köszörülés, csiszolás, szuperfiniselés, leppelés, honingolás stb. A hagyományos finomfelületi megmunkálási eljárásokkal elérhető felületi simaság egyéb fémeknél is egy mikronnál durvább. Ez az érték egy nagyság-20 renddel rosszabb a korábban említett 0,1-0,08 mikron értéknél. Egy további nehézség metallográfiai eredetű. A fémek általában, így az alumínium is, kristályos szerkezetűek. A forgácsoló eljárások szükségszerű 25 kísérő jelensége a felület helyi felmelegedése, ami elérheti az olvadáspontot is. További nehézséget jelent, hogy a hagyományos megmunkálási eljárásoknál a tárcsát mechanikusan rögzítik, mely nem kívánatos deformációt ered-30 ményezhet. 168816