167861. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés integrált áramkörök kivezetésekkel való ellátására, kivezetőrács-szalag és vékonyrétegű összekötő mintázat az eljárás foganatosításához és az eljárással készített félvezető integrált áramkör
167861 Nemzetközi osztályozás: H 01 1 1/14 7/60 ^ // 31 34 n Fig, 3 WäSL Fig,4 r • • M Z1 =£ ,-itf F* 9' 5
/
