167861. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés integrált áramkörök kivezetésekkel való ellátására, kivezetőrács-szalag és vékonyrétegű összekötő mintázat az eljárás foganatosításához és az eljárással készített félvezető integrált áramkör

167861 tott forrasztószerszámot és a forrasztószerszám alakjának megfelelő kivágószerszámot, majd a kivágószerszámnak a forrasztószerszám felé történő elmozdításával az egymásra rétegezett összekötő mintázatot és kivezetőrácsot összenyomva az összekötő mintázat csatlakozási helyeit a kivezetőrácshoz forrasztjuk. A találmány tárgya másrészt az eljárás foganatosítására szolgáló berendezés, amely berendezésnek az összekötő mintázatot a kivezetőrács-szalag egyik kivezetőrácsával fedésbe hozó szerkezete és a kivezetőrács csatlakozási részeinek megfelelő csúcsokkal rendelkező forrasztószerszáma van, és az jellemzi, hogy a forrasztószerszám csúcsait egyformán a forrasztó fém vagy ötvözet olvadáspontjánál magasabb állandó hőmérsékleten tartó fűtőeszköze és az összekötő mintázatot és a kivezetőrács csatlakozási részeit a fűtött forrasztószerszámmal a kötés készítéséhez szükséges ideig érintkezésben tartó szerszáma van. A találmány szerint a mart fémrétegből álló öszszekötő mintázatot hozzáragasztjuk egy rugalmas szigetelő hordozóréteghez, előnyösen szalaghoz. A hordozórétegben egy nyílás van, és a fémmintázat végződései továbbterjednek a nyílás szélein. A nyíláson belül az összekötő mintázat végei azonos elrendezésűek a félvezető szelet villamos csatlakozási pontjaival, és így egyszerűsödik a hozzájuk való rögzítés, valamint lehetővé válik, hogy az összekötő mintázat minden végződését egyetlen lépésben rögzítsük a félvezető szelethez. A javasolt vékonyrétegű összekötő mintázat a találmány szerint hajlékony szintetikus gyanta anyagú hordozóra ragasztott, vékony hengerelt rézfóliából áll, és külső kerületén, egy sorozat megnövelt csatlakozási helyet tartalmaz oly módon elrendezve, hogy azok maximálisan megkönnyítsék a kivezetőrács megfelelő végződéseihez való rögzítést vagy az azokhoz való illesztést az automatikus összeállítási művelet során. A termikus feszültséget azáltal csökkentjük, hogy hengerelt rézfóliát alkalmazunk galvanikusan leválasztott rézréteg helyett, és hogy nagyhőmérsékletű poliamiddal ragasztunk. A javasolt kivezetőrács az eddigieknél egyszerűbb geometriájú, mert a vékonyrétegű összekötő mintázat viszonylag nagy csatlakozási helyekkel rendelkezik. A szokásos követelmények kielégítését az is megkönnyíti, hogy a mintázat hőtágulása megegyezik a szilíciuméval. Ily módon a kivezetőrács olcsóbb fémből, például rézből vagy rézötvözetből is készülhet. Miután a kivezetőrács belső végződései célszerűen mindössze 1,27 mm méretűek, további jelentős költségcsökkenést okoz a kivágási előírások kevésbé kritikus volta. Mind az összekötő mintázatot, mind a kivezetőrácsot legalább azokon a részeken, ahol majd a csatlakoztatás megtörténik, ónnal vagy egyéb forrasszal vonjuk be. Ezután az összekötő mintázatot hozzáforrasztjuk a kivezetőrácshoz oly módon, hogy a forrasztási helyeket szelektíven hevítjük, miközben a darabokat egymással érintkezésben tartjuk mindaddig, amíg a forrasz megolvad. A találmány szerinti eljárás egyik előnyös foganatosítási módjánál a forrasztást automatikusan végezzük. Mind a kivezető rácsot, mind az összekötő mintázatot (a félvezető szelettel együtt) szalag alakban egy-egy nagy tekercsről adagoljuk úgy, hogy az egymásutáni egységeket egy fogas hajtó-eszköz segítségével pontosan egymáshoz illesztjük. Az egységeket párosával továbbítjuk a fűtött forrasztószerszám kö-5 zelébe. A forrasztószerszám fejének olyan geometriai alakja van, amely az összekötő mintázat, ill. a kivezetőrács kötési helyeihez igazodik. Ezután egy kivágószerszán kezd működni, amely kivágja és eltávolítja a megfelelő részt a fémezett ru-10 galmas szigetelő szalagból, és a kivágott részt a fűtött forrasztószerszámhoz nyomja az odatartozó kivezetőrács egységgel együtt mindaddig, amíg az ón vagy egyéb forraszréteg megolvad, és a forrasztás létrejön. 15 A kivágószerszám ezután visszahúzódik, és mind az összekötő mintázat, mind pedig a kivezetőrács szalagja egy egységgel továbbhalad, majd a forrasztási művelet megismétlődik. Belátható, hogy ez a művelet egyszerű és gyors, eredményesen automati-20 zálható, és ezért nagy termelékenységű. Az összeszerelt egységek ezek után készek a műanyag tokozásra, beállításra, vizsgálatra és válogatásra az ismert technológia szerint. Alternatív megoldásként a szétdarabolatlan kivezetőrács-szalag a 25 szeletekkel és az összekötő mintázatokkal együtt egy orsóra tekerhető, és úgy szállítható vagy raktározható. A találmány tárgya továbbá a találmány szerinti eljárással készített tokozott félvezető integrált áram-30 kör, amelynek félvezető szelete, fém kivezetésű és vékonyrétegű összekötő mintázata van, és az jellemzi, hogy a fém kivezetéseket azonos geometriai alakú, párhuzamos és tükörszimmetrikus elrendezésű elemek alkotják, amely elemeknek szélességükkel 35 közel azonos térközű, párhuzamos belső végződései vannak, továbbá az összekötő mintázat nyílásokkal ellátott, hajlékony, szigetelő hordozórétegre van felvíve, és a mintázat végződéseinek egyik sorozata a kivezető elemek belső végződéseihez van forrasztva, 40 a mintázat végződéseinek másik sorozata pedig belenyúlik a nyílásba és a félvezető szelethez van csatlakoztatva. A találmányt a továbbiakban a rajzokon szemléltetett kiviteli alakok alapján ismertetjük, ahol 45 1. ábra egy sorozat összekötő mintázattal ellátott hajlékony szigetelő szalag nagyított felülnézete, a 2. ábra a kivezetőrács-szalag egyetlen egységet tartalmazó darabjának nagyított felülnézete, a 3., 4. és 5. ábrák részben oldalnézetek, részben 50 metszetek, amelyek a kivágószerszám, a kivezetőrács és az összekötő mintázat által a forrasztás során felvett helyzetek sorrendjét szemléltetik, és a 6. ábra a kivezetőrács egységnyi szakaszának nagyított felülnézete, amely a már hozzáforrasztott ösz-55 szekötő mintázatot és egy epoxi cséppel védett félvezető szeletet is tartalmazza. Az 1. ábrán szemléltetett hajlékony, szigetelő 11 hordozóréteg anyaga előnyösen Du Pont gyártmányú „Kapton" poliamid műanyag. Ezt az anyagot termi-60 kus stabilitása és mechanikus feszültséggel szembeni mérettartása miatt választottuk. A hordozóréteget három sorozat nyílással láttuk el. A 12 perforáció fogak segítségével történő továbbítást, ill. adagolást szolgálja. A 13 nyílások lehetővé teszik a tokozás 65 alatt az öntőformában fellépő nyomás gyorsabb ki-2