167766. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés parciális nyomás mérésére

4 á/ÍTs fí'1

u s-4 167766 Nemzetközi osztályozás: G 01 1 7/00 2-1 r,3

H s-i 2H 70 0° T 5 1Q1

2 Figur 1 w 20°C 3 -39°C Torr