167766. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés parciális nyomás mérésére
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1973. V. 28. (HO—1574) Német demokratikus köztársaságbeli elsőbbsége 1972. VI. 9. (WP G 01 1/163 567) Közzététel napja: 1975. VII. 28. Megjelent: 1977. I. 31. 167766 Nemzetközi osztályozás: G 01 1 7/00 Feltalálók: Böttcher Gertrande, oki. fizikus, Cottbus, Brehmer Ludwig, dr. oki. fizikus, Potsdam, Haensel Horst, dr. professzor, egyetemi magántanár, Potsdam, Schwenke Wolfgang, dr. rer.nat, Drezda, Telle Wolfgang, dr. mérnök, Drezda, Német Demokratikus Köztársaság Tulajdonos: VEB Hochvakuum Dresden, Drezda, Német Demokratikus Köztársaság Eljárás és berendezés parciális nyomás mérésére A találmány tárgya eljárás és berendezés szerves és szervetlen gázok parciális nyomásának mérésére, különösen légritkított térben. Az ismert parciális nyomást mérő vákuummérők villamos és/vagy mágneses térnek töltött részecs- 5 kékre gyakorolt hatásán alapulnak és csak 10—3 tormái kisebb össznyomás esetén alkalmasak parciális nyomás mérésére. Ezek az ismert parciális nyomást mérő vákuummérők bonyolult elektronikus rendszert igényelnek. 10 A mérőcella felépítése bonyolult. A nagy méretű, nagy felületű és forróelektródokkal rendelkező vákuummérő cella gyakran jelentős mértékben befolyásolja a tartály vákuumfizikai viszonyait. Az ismert mérőeszközök ugyanakkor kiegészítő berende- 15 zések nélkül kisvákuumban elvileg nem alkalmazhatók. A találmány célja a parciális nyomás mérésének egyszerűsítése és a mérési tartomány kiterjesztése. A találmány feladata olyan eljárás és berendezés 20 létrehozása, amely a vizsgált térben uralkodó viszonyokat csak jelentéktelen mértékben befolyásolja, nem igényel forró elektródokat és a kisvákuum tartományában is lehetővé teszi a parciális nyomás mérését. 25 A feladat találmány szerinti megoldásában a parciális nyomás mérésére szerves anyagú, molekuláris kötésű szilárdtest villamos vezetőképességének a szilárdtesttel kölcsönhatásba lépő gáz parciális nyomásától való függését hasznosítjuk. A mért érték a 30 villamos vezetőképesség. A gáz és a szilárdtest kölcsönhatása kemoszorpciós folyamaton alapszik. A vizsgált gáz a szilárdtest szempontjából mind elektronakceptor, mind elektrondonor lehet. Ilyen gáz különösen az oxigén, hidrogén, szénmonoxid, széndioxid és más gáz alakú szénvegyületek. A szilárdtest anyaga valamely lineárisan konjugált szerves vegyület, például politerpén és kétszeresen vagy többszörösen kondenzált aromás szénhidrogén. Mivel a kemoszorpciós folyamat elsősorban a felületi villamos jellemzőket, tehát a felületi vezetőképességet változtatja meg, vékony szilárdtestréteg vagy -film alkalmazása is elegendő, azonban préselt elemek vagy egykristályok is alkalmazhatók szilárdtest-nyomásindikátorként. A parciális nyomást mérő berendezés a megfelelő geometriájú (célszerűen vékonyrétegként kialakított) szilárdtestből mint nyomásindikátorból, a nyomásindikátort tartó, termosztatizálható hordozóból és két elektródból áll, amelyek áramot vezetnek a nyomásindikátorhoz. A további villamos mérőberendezés önmagában ismert kivitelű. A nyomásindikátort azért kell termosztatizálni, mert a hőmérsékletváltozások erősen befolyásolják a mérési pontosságot. A nyomásindikátor optimális hőmérséklete az alkalmazott szilárdtesttől és a vele kölcsönhatásba lépő gáztól függ, transz-ß-karotin és oxigén esetén például 45 °C. A nyomásindikátor érintkeztetése ismert elektródanyagokkal, például 167766 1
