167641. lajstromszámú szabadalom • Rezgőkvarcos analóg rendszerű rétegvastagságmérő berendezés

5 167641 6 csolata lehet elektromos vagy mechanikus. A találmány szerinti korrekciókkal ellátott rezgőkvarcos rétegvastagságmérő berendezés egyik lehetséges megvalósítása a 3. ábrán látható. A találmány szerinti rezgőkvarcos, analóg rendszerű rétegvastagságmérő berendezésnél az eddig ismeretes berendezés 6 frekvencia-feszültség átalakítója és a 7 kijelző műszere közé a 8 sűrűségbeállító elemmel vezérelt 9 műveletiegységet és az ezzel soros kapcsolatban lévő, az ismeretes 3 referencia oszcillátorral vezérelt 10 elhangoláskorrektort kapcsoljuk és az eddig ismeretes 3 referencia oszcillátort all kiegyenlítést vezérlő egység kimenetével vezéreljük, melynek egyik bemente az ismert 2 mérő oszcillátorhoz, másik bemenete pedig az ismert 3 referencia oszcillátorhoz van kapcsolva. A találmány szerinti berendezés — az eddig ismeretes berendezésekhez hasonlóan — kiegészíthető a mérendő réteg lecsapódási sebességét mérő egységgel is. Az eddig ismeretes berendezéseknél a kiegészítést a 6 feszültség-frekvencia átalakító kimenetéhez csatolt differenciáló fokozattal és ennek kimenetére kapcsolt kijelző műszerrel oldják meg. A találmány szerinti berendezésnél a 10 elhangoláskorrektor kimenetére kapcsolt differenciáló fokozat és ennek kimenetére csatolt kijelző műszer teszi lehetővé a mérendő réteg lecsapódási sebességének mérését. Az eddig ismeretes berendezésekkel szemben, a találmány szerinti vastagságmérő berendezéshez csatlakoztatott lecsapódási sebességet mérő egység az elhangolás és a sűrűség figyelembevételével korrigált mérést biztosít. SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Rezgőkvarcos, analóg rendszerű rétegvastagságmérő berendezés, amely mérőkristályt (1), annak kimenetére kapcsolt mérőoszcillátort (2), ahhoz csatlakozó keverőfokozatot (4) tartalmaz, a keverőfokozat (4) másik bemenetére referencia oszcillátor (3) kimenete csatlakozik, továbbá a keverőfokozat (4) kimenete impulzusformáló (5) bemenetére van kötve, amelynek kimenete frekvencia-feszültség átalakítón (6) keresztül vastagság kijelző műszerrel (7) van összekötve, azzal jellemezve, hogy a frekvencia-feszültség átalakító (6) és a vastagság kijelző műszer (7) közé műveleti egység (9) van iktatva és a műveleti egység (9) vezérlő bemenetére lineáris rétegsűrűség beállító elem (8) kimenete csatlakozik. 2. Az 1. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a műveleti egység (9) és a vastagság kijelző műszer (7) közé elhangoláskorrektor egység (10) van kötve és az elhangoláskorrektor egység (10) vezérlő bemenetére a referencia oszcillátor (3) második kimenete csatlakozik. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy referencia oszcillátorának (3) bementére kiegyenlítést vezérlő egység (11) kimenete van kötve, amelynek egyik bemenetére a mérőoszcillátor (2) kimenete, a másik bemenetére pedig a referencia oszcillátor (3) egyik kimenete csatlakozik. 4. Az 1—3 igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a mérőoszcillátor (2) és a keverőfokozat (4) közé további keverőfokozat van iktatva, amelynek másik bemenetére fix referencia oszcillátor csatlakozik. 5. Az 1—4. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a lineáris rétegsűrűség beállító eleme (8) a műveleti egységet (9) képező műveleti erősítő bemenetére sorosan kötött, változtatható impedancia. 6. A 2—5. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az elhan-35 goláskorrektor egység (10) korrekciós eleme a referencia oszcillátorral (3) mechanikus és/vagy elektromos kény szerkapcsolatban lévő, változtatható ellenállás és/vagy kondenzátor. 10 15 20 25 30 3 db rajz A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 760279, OTH, Budapest