167497. lajstromszámú szabadalom • Berendezés félvezető anyagok epitaxiális rétegeinek előállítására

167497 8 száma, és a primer és járulékos hőárnyékoló ernyők (21) vízszintes falainak száma összeépített állapotban a hevítő (10) lapjai számának kétszerese, és hogy a hevítő (10) lapjainak (12) függőleges munkafelületei és a primer és járulékos hőárnyékoló ernyők (21) belső falai közötti távköz, továbbá a hevítők (10) lapjainak vízszintes felületei és a primer és járulékos hőárnyékoló ernyők (21) vízszintes belső felületei közötti távköz összeépített állapotban a félvezető anyag epitaxiális rétegeit felvevő réteghordozók átmérőjének 0,10—0,15-szörösét teszi ki. 2. Az 1. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a primer hőárnyékoló ernyő (21) IÍI-alakúra van kiképezve. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a reakciós kamrán belül a primer hőárnyékoló ernyők (21) számával azonos számú járulékos hőárnyékoló ernyő (27) van elrendezve és ezek a primer hőárnyékoló ernyőkkel (21) szemben helyezkednek el és azokkal együtt a hevítő (10) lapjai (12) körül zárt tereket képeznek. 10 15 20 4. A 2. vagy 3. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy több primer (21) és több járulékos (27) IH-alakú hőárnyékoló ernyő alkalmazása esetén ezek egydarabos alakzatként vannak kialakítva. 5. Az 1-4. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a kengyel (13), amely a hevítő (10) lapjait (12) összeköti, ezen lapok (12) alapfelületével (14, 15) párhuzamosan az egyik oldalán van elrendezve. 6. A 2-5. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a hevítő (10) lapjainak (12) kisebbik alapfelülete a nagyobbik alapfelület (15) felett van elrendezve és a lapok (12) oldalfelületeinek (16, 17) hajlásszöge a függőleges síkkal (18) 3°-os szöget zár be. 7. A 2—6. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a primer hőárnyékoló ernyő (21) és a hevítő (10) lapjai (12) egyenfeszültségforrásra (33) vannak kötve, és ionizációs berendezést alkotnak, amelynek egyik elektródja a hevítő (10), míg másik elektródja a primer hőárnyékoló ernyő (21). 2 rajz, 3 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi KönyvMadó igazgatója 766108 - Zrínyi Nyomda 4