167184. lajstromszámú szabadalom • Elektronikus eszköz és eljárás annak gyártására

11 167184 12 dési frekvenciáját a szomszédos 84-86 elektródák középvonalai között mérhető távolság határozza meg. Ha nagyfrekvenciás működést kívánunk, akkor az említett középvonalaknak rendkívül közel kell feküdni egymáshoz. Szakemberek számára ismert, hogy egy ilyen átalakító 83 alaplapját általában valamilyen piezoelektromos szubsztrátum, pl. kvarc, lítiumniobát stb. alkotja. Az átalakító elektródáira adott jel felületi hullámot gerjeszt, amelyet az ábrán a 85 nyilakkal jelöltünk. Az átalakítókhoz használt különböző szubsztrátum anyagok, geometriai formák stb. jól ismertek, ezért itt sem ábrázolásuk sem pedig leírásuk nem szükséges. Elegendő, ha utalunk a 3 686 518 sz. amerikai szabadalmi leírásra. A 84 és 86 elektródákat pl. a jelen találmány szerinti eljárással alakíthatjuk ki, amelyet a 6-10. ábrák illusztrálnak. Ebben az esetben a 84 elektróda sorozatot az első szintű fémrétegből, a 86 elektróda-sorozatot pedig a második szintű fémrétegből állíthatjuk elő. A találmány szerinti megoldás előzőekben közölt részletes leírása alapján láthatjuk, hogy a találmány felsorolt céljai előnyösen megvalósultak. A találmány szerinti megoldás egyik előnye, hogy a szomszédos elektródák közti távolságot kb. 3000 Á-ig csökkenthetjük. Előnyös, hogy az elektródákat oxidréteg zárja el a környezeti nedvességtől, amely különben befolyásolná az eszköz érzékenységét. A találmány szerinti eljárással kialakított többszintesen fémezett rendszerben, mindegyik fémrétegnek azonos ellenállása van, és az egyes elektródákat azonos távolság választja el a félvezető anyag felületétől. Az utóbbi körülmény azzal az előnnyel jár együtt, hogy egy töltéscsatolt eszköz vezérléséhez azonos amplitúdójú óra-impulzusokat használhatunk. Továbbá, miután a szomszédos elektródákat elválasztó alumíniumoxidrétegnek nagy a dielektromos állandója, növekszik az elektródák közti csatolás és ezzel együtt a töltésátvitel hatásfoka. Végül az alumíniumoxid és a szilíciumoxid közti határréteg előnyösen befolyásolja a töltéscsatolt eszközben a negatív töltés eloszlását, amely töltés különben invertálná az n-típusú felületet, továbbá a szilíciumban megszünteti az elektródák közötti potenciálgátakat, és ezáltal javítja a töltésátvitel (töltéstovábbítás) hatásfokát. Nyilvánvaló, hogy a jelen találmány felsorolt kiviteli alakjain, illetve foganatosítási módjain kívül a szakemberek végrehajthatnak bizonyos konstrukciós módosításokat anélkül, hogy a találmány céljától és szellemétől eltérnének. Például a leírás ugyan egy négyfázisú töltéscsatolt eszközre szorítkozik, de az anódos oxidáló eljárás bármely többfázisú rendszer előállítására éppenúgy felhasználható. Szabadalmi igénypontok: 1. Elektronikus eszköz, amelynek felületi szigetelő réteggel (12) ellátott szubsztrátuma (10), a felületi rétegre leválasztott és egymástól térközökkel elkülönített fémrétegekből (16) álló első fémréteg csoportja, a fémrétegek szabad felületét borító szigetelő bevonata, egymástól térközökkel elkülönített fémrétegekből (18) álló második fémréteg csoportja, és az első és második fémréteg csoporthoz villamos kontaktust biztosító 5 vezetékei vannak, továbbá a két fémréteg csoport elemei egymás közé vannak illesztve és a második csoport elemei lényegében kitöltik az első csoport szomszédos elemei közti térközöket, végül mindkét csoportbeli fémrétegeknek a szigetelő réteggel 10 érintkező felületei (32, 34) azonos síkban fekszenek, azzal jellemezve, hogy az első csoportbeli fémrétegek anódos oxidálása útján előállított oxidréteg (30) alkotja és az első és a második fémréteg csoport elemeit (16a, 18a) eme oxidréteg 15 (30) választja el egymástól. 2. Az 1. igénypont szerinti elektronikus eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a szubsztrátum (10) félvezető test, amelynek egyik oldalát passzívált szigetelő réteg (12) borítja, és amely 20 szubsztrátum említett oldalán a szubsztrátumba villamos töltéseket bevezető első kontaktus (24) és a szubsztrátumból villamos töltéseket elvezető második kontaktus (28) van kialakítva, továbbá az első és a második fémréteg (16 és 18) csoport 25 töltéstovábbító elektródarendszert képez. 3. Az 1. igénypont szerinti elektronikus eszköz akusztikus felületi hullámú átalakítóként kiképzett kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a szubsztrátum piezoelektromos anyagú test (83), az első 30 fémréteg csoport elemei egyik végükön villamosan összekapcsolván első elektródarendszert (84), a második fémréteg csoport elemei egyik végükön villamosan összekapcsolva második elektródarendszert (86) képeznek. 35 4. Az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti elektronikus eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az első és második fémréteg csoport alumíniumból, az anódosan oxidált szigetelőbevonat pedig alumíniumoxidból áll. 40 5. Az 1—4. igénypontok bármelyike szerinti elektronikus eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az első és második fémréteg csoport elemei keskenyebbek 5 mikronnál. 6. Az 1—5. igénypontok bármelyike szerinti 45 elektronikus eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az anódosan oxidált szigetelő bevonat vékonyabb 3000 A-nél. 7. Eljárás az 1-6. igénypontok bármelyike szerinti elektronikus eszköz előállítására, amelynek 50 során szubsztrátum szigetelt felületén előbb egy térközökkel elválasztott és egymástól villamosan szigetelt fémrétegekből álló első fémréteg csoportot és ennek elemei közé iktatott és tőlük villamosan szigetelt fémrétegekből álló második fémréteg 55 csoportot alakítunk ki, azzal jellemezve, hogy az első fémréteg csoport elemeit egy gyűjtőelem segítségével ideiglenesen egy feszültségforráshoz csatlakoztatjuk, a feszültségforrásból a gyűjtőelemen keresztül az első fémréteg csoportba 60 áramot vezetve az első fémréteg csoport felületét szelektív anódos oxidálás útján szigetelő oxidbevonattal látjuk el, majd egy második fémréteg csoportot készítünk olyan módon, hogy az említett szigetelő oxidbevonat választja el egymástól a két 65 fémréteg csoport megfelelő elemeit. 6