166911. lajstromszámú szabadalom • Eljárás vékony mágneses réteg képzésére fém vezetőn
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1973. III. 14. (PO—534) Lengyelországi elsőbbsége: 1972. VI. 05. (P—155 800) Közzététel napja: 1975. I. 28. Megjelent: 1976. VII. 31. 166911 Nemzetközi osztályozás: C 23 b 5/32, C 23 c 3/00 Feltalálók: Dr. Przyluski Jan vegyészmérnök, Varsó, Bielinski Jerzy oki. vegyész, Varsó, Goldon Józef oki. vegyész, pow. Minsk Mazowiecki, Lengyelország Tulajdonos: Politechnika Warszawska, Varsó, Lengyelország Eljárás vékony mágneses réteg képzésére fém vezetőn í A találmány tárgya eljárás vékony mágneses réteg, például nikkel—vas ötvözet képzésére fémből készült vezetőn, különösen vörösréz, berrilium—bronz foszfor—bronz stb. vezetők esetében, továbbá főleg a vezető folyamatos haladása 5 közben. A fémből készült vezetőt, amelynek külső felületén vékony mágneses réteget alakítunk ki, elektronikus rendszerekben a mágneses terek érzékelőj eként, automatikai elemként, és mechani- io kai deformációk nagy érzékenységű detektoraként alkalmazhatjuk. A gyakorlatban eddig alkalmazott eljárásoknál a vezető felületének például lúgos oldattal elvégzett tisztítása és savas oldatban történő is maratása után a felületre először közvetlenül vörösréz réteget vittek fel, amelyet szükség esetén szabályozott módon érdesítettek, és mágneses térben történő egyidejű kezelése mellett mágneses réteget vittek fel rá. 20 Az így kapott mágneses rétegeknek azonban nem volt kielégítő mágneses tulajdonságuk, különösen azon mágneses jellemzők vonatkozásában, amelyek a fém vezető kialakításától és szövetszerkezetétől függöttek. Az ismert eljárások- 25 kai készülő mágneses rétegek kialakítása során epitaxiális jelenség volt észlelhető, amelynek következtében a mágneses rétegnek a vezetőn felvett mágnesezési iránya úgynevezett „ferde szöggel" eltért a kívánt mágnesezési iránytól. 30 A vezetőn kialakított mágneses réteg mágnesezési iránya ezen eltérése által a fém vezetőre gyakorolt kedvezőtlen hatás elkerülése céljából a vezetőn közbenső arany vagy vörösréz réteget alakítottak ki, és ez képezte a mágneses réteg alapját. Arany alkalmazása nagyon költségesnek bizonyult, míg a vörösréz esetében a kívánt eredmény csak akkor volt elérhető, ha 6—15 mikrométer vastag réteget alkalmaztak, amely nemcsak fokozott műszaki nehézségeket okozott, hanem a vezető keresztmetszetét is jelentősen megnövelte. Célunk a találmánnyal olyan eljárás létrehozása vékony mágneses réteg kialakítására fémből készült vezetőn, amely amellett, hogy olcsón elvégezhető, maximálisan csökkenti a réteg mágnesezettségének az említett „ferde szögét", és egyidejűleg a legkedvezőbb mechanikai és mágneses paramétereket biztosítja, különösen pedig nem vonja maga után a vezető keresztirányú méretének jelentős növekedését. Hosszas munka után úgy találtuk, hogy a fenti célt úgy érhetjük el, ha a fém alapot felületi tisztítás után, de a következő közbenső réteg és a mágneses réteg leválasztása előtt, vegyi vagy elektrokémiai úton 0,2—2 mikrométer vastagságú közbenső nikkel—foszfor ötvözetből álló réteggel vonjuk be. Azt tapasztaltuk, hogy a fenti ötvözetnél 80—94% nikkel és 6—20% foszfor 166911
