166762. lajstromszámú szabadalom • Félvezető eszköz nagyfeszültségű stabil átmenetekkel
166762 anyagaként célszerűen mindazok az ellenállásanyagok szóba jöhetnek, amelyeket az I. példában említettünk. Alkalmazhatók azonban vezető fémek is, amilyen például az alumínium, az arany, az ezüst, a 5 wolfram és a molibdén. A 6. ábrán látható 100 planárdióda üzemében az első és második 118, illetőleg 122 vezető réteg módosítja a szórt villamos teret, csökkenti csúcsértékét és ezt egyenletesebben osztja el a 104 felületen. 10 Jóllehet a 6. ábrán planár eszközt tüntetünk föl, a találmány szerinti megoldás nyilván nem-planár eszközökkel kapcsolatban is alkalmazható, amelyekben a nagyfeszültségű átmenet élfelületen hat át. Ilyen eszköz látható a 7. ábrán. Az eszköz ez eset- 15 ben kontúrozott 140 dióda, amelynek a 3. ábrán látható 40 diódához hasonlóan P+ típusú N+ típusú és N— típusú 142, 144, illetőleg 146 zónája, valamint a 140 alkatrész 150 élfelületét az átmenet és a felület 152 áthatásánál metsző nagyfeszültségű PN 20 típusú 148 átmenete van. Szigetelő 158 burkolaton első és második vezető 154 és 156 réteg helyezkedik el, amelyek az átmenet és felület 152 áthatását a 150 élfelületen közzel elválasztva és átlapolva teljesen körülveszik. A vezető 154 és 156 rétegek 25 mindegyike a P-f- típusú 142 zónával, illetőleg az N+ típusú 114 zónával villamosan érintkezik. Szabadalmi igénypontok: 30 1. Félvezető eszköz, amelynek félvezető teste, a félvezető testben kialakított első vezetőképességű félvezető zónája, a félvezető testben ezzel az első vezetőképességű zónával szomszédos második vezetőképességű félvezető zónája, valamint a zónák között az átmenet és a felület áthatásánál a félvezető test felületéig érő PN típusú átmenete van, azzal jellemezve, hogy elosztott ellenállású rétege van, amely az átmenet és a felület áthatását legalább részben átfedi és a két zónával villamos érintkezésben van. 2. Az 1. igénypont szerinti félvezető eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az elosztott ellenállású réteg az áthatást teljesen átfedi. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti félvezető eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az elosztott ellenállás és az átmenet és felület áthatása között szigetelés van. 4. A 3. igénypont szerinti félvezető eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az elosztott ellenállás réteg alakjában van jelen, amelynek négyzetes ellenállása 102 és 10 9 ohm/négyzet között van. 5. Az 1—4. igénypontok bármelyike szerinti félvezető eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az elosztott ellenállásban rezisztív félvezető anyagból álló réteg van. 6. Az 5. igénypont szerinti félvezető eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a rezisztív félvezető anyagban rezisztív polikristályos szilíciumból álló réteg van. 7. A 3. igénypont szerinti félvezető eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az ellenállást alkotó rétegben nem-sztöchiometrikus fémoxid van. 8. A 7. igénypont szerinti félvezető eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a nem-sztöchiometrikus fémoxidban nem-sztöchiometrikus hőálló fémoxid van. 2 rajz, 7 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 76.2798.66-42 Alföldi Nyomda, Debrecen — Felelős vezető: Benkő István igazgató 4
