166515. lajstromszámú szabadalom • Getterező eljárás és eszköz annak kivitelezéséhez

3 166515 4 járásokkal szemben, hogy az alkalmazott szelektív hevítés csak a getteranyagot éri. További előnyt jelent, hogy a lézersugár miatt a burán kisméretű ablak is elegendő ahhoz, hogy a sugár a getteranyaghoz jusson. A hevítendő anyag közelében esetleg előforduló fém itt nem okoz problémát, szemben a rádiófrekvenciás örvényáram alkalmazásával. A lámpa találmány szerinti gyártása során előnyösen úgy járunk el, hogy a getter-anyagot elhelyezzük a burában, leforrasztjuk a burát, majd fókuszált lézersugarat irányítunk a bura belsejébe, hogy az a getteranyag legalább egy részét elpárologtassa. Getteranyágként alkalmazhatunk stabil, aktív fémeket, így például alumíniumot, cirkóniumot, hafniumot vagy ezek ötvözeteit és például báriumot is, amely levegőn instabil. Valamennyi getteranyag alkalmazható például lap vagy drót alakban, vagy tűzálló anyag bevonataként, vagy kapszulába lezárva. A kapszula megvédi a gettert az atmoszférától, amíg az szükséges. Ez utóbbi esetben a kapszula anyaga is elpárolog, mivel a lézersugár áthatol a kapszulán, mielőtt a getteranyagot elérné. A kapszula maga is lehet getteranyag, és akkor nem kell, hogy belül további getteranyagot tartalmazzon. Az eljárást oly módon is foganatosíthatjuk, hogy a leforrasztott kapszulába olyan anyagot helyezünk, amelyből töltő- és/vagy gyújtógáz lesz a kész eszközben. A lámpák, elektroncsövek vagy hasonlók gyártásához az illó és/vagy gáznemű összetevők burába való bevitelét többek között „adagolás"-nak is nevezzük. Ha wolframhalogén lámpákat akarunk gyártani, akkor illó halogenid vagy halogén adalékanyag lehet a kapszulába forrasztva. Ha fluoreszcens lámpát gyártunk, akkor a leforrasztott kapszula csak higanyt tartalmaz, és ha másféle kisülési lámpát gyártunk, akkor a kapszula a higanyon vagy nátriumon kívül egyéb adalékanyagot is tartalmazhat, hogy biztonsággal megkapjuk az előírt kisülési karakterisztikát. Ha fluoreszcens lámpát gyártunk, akkor fontos, hogy a burán hagyjunk egy kis fénypormentes területet, amelyen át a lézersugár áthatolhat. A leforrasztott kapszula anyaga bármi lehet, amelyet a fókuszált lézersugár okozta hevítéssel szét lehet roncsolni. így többek között üveg, kvarc vagy fém. A lézersugár nem roncsolhatja magát a burát, mivel nem arra esik a sugárnyaláb gyújtópontja. Ha a lámpába higany adalékot akarunk bevinni, előnyös, ha a kapszula anyaga alumínium, bár ez nem feltétlenül szükséges. A fókuszált lézersugár hatására elpárolog az alumínium, és a szomszédos bura részeken lerakódik. Különösen előnyös az alumínium anyagú kapszula, ha csak higany adalékot alkalmazunk, mivel e kettőből képződött amalgám igen hatásos getteranyag. A továbbiakban leírjuk a találmány néhány alkalmazási példáját, és közben a mellékelt rajzokra hivatkozunk, amelyek közül az 1. ábra a kisülési lámpa egyik végének egyszerűsített keresztmetszeti rajza, és a 2. ábra egy fluoreszcens lámpa egyik végének hasonló rajza. Egy lámpa színüvegből való 10 burájának 11 végét láthatjuk $z, J, ábrán, Ennél a végnél kialakítunk egy 12 visszahajló részt, amelynek 13 forrasztásán keresztül vezetjük ki a lámpa burájából a két 14 kitámasztó huzalt. Amint látható, a 13 forrasztás egy keskeny 15 cső torkolatát is rögzíti. Ezen a csövön 5 át csatlakoztatjuk a 10 burát a (nem ábrázolt) szivattyúrendszerhez, hogy evakuálhassuk, mielőtt leforrasztanánk. A 14 állvány egyik ágához forrasztjuk az alumíniumból, titánból, cirkóniumból vagy hafniumból levő 10 huzal — vagy lemez alakú gettert oly módon, hogy annak túlnyomó része all lámpavég 12 visszahajlása és 17 hengeres része közé kerüljön. Egy (nem ábrázolt) lézerből érkező 18 sugárnyalábot a huzal vagy lemez alakú 16 getter szabadon 15 levő végének felületére fókuszáljuk, és ezzel az említett ponton megnöveljük a hőmérsékletet a 16 huzal vagy lemez alakú fém forráspontjáig. Ekkor az elpárolgó fém a huzal vagy lemez alakú 16 getter anyagától függően a burában nyomokban előforduló 20 szabad gázok közül egyet vagy többet megköt, azaz a bura gázteréből eltávolít. A nem ábrázolt lézer magában foglal egy olyan optikai rendszert is, amelynek segítségével elegendően párhuzamos sugárnyalábot tudunk előállítani 25 ahhoz, hogy azt a huzal vagy lemez alakú 16 getter felületére tudjuk fókuszálni anélkül, hogy az üvegből vagy kvarcból készült burát felhevítenénk a sugárnyaláb behatolásának helyén. Amikor a lézersugarat a getteranyag felületére gyűjtjük, akkor az el-30 párolgó getteranyag főleg a lézersugárnyalábbal szemben, azaz a sugárforrás felé vándorol. Az elpárolgó anyagból vékony getterréteg rakódik le a 10 bura belső falfelületére. Ezen réteg kiterjedését a sugárzás intenzitásával és a fókuszálás finomságával 35 befolyásolhatjuk. Impulzus üzemű lézerhez neodiummal doppolt üvegrudat használhatunk lézer sugarat produkáló anyagként. A kísérleti eredmények megmutatták, hogy egy 20 joule energiájú, és 700 mikrosecundu-40 mig tartó impulzus elegendő kb. 1 milligramm getterfém elpárologtatásához. A 2. ábrán látható 110 fluoreszcens lámpa 111 burájának belső felületét túlnyomórészt 112 fényporréteg borítja. A fénypor bevonatot ismert módon ál-45 lítottuk elő, miközben a 113 lezáró falat tisztán hagytuk, azaz nem borítottuk be fényporréteggel. A 111 burához egy befelé terjedő 114 nyak van forrasztva. Az utóbbin keresztül bújtatjuk ki a két 116 elektróda-kivezetést. A 116 elektróda-kivezetések 50 belső végei tartják az izzószálat. Végül az említett nyak beforrasztva tartalmazza a 118 evakuáló és gáztöltő csőcsonkot is, amelyet a lámpa gyártásához használunk. A lámpa készítése során a szerelvényt a követke-55 ző módon készítjük el. Először az izzó-szálat tartó 116 árambevezetőket forrasztjuk be a nyakba a 118 csőcsonkkal együtt, amely ekkor még mindkét végén nyitott. A 121 híganycseppet tartalmazó leforrasztott alumínium kapszulát a szerelvény egyik 116 60 árambevezetőjéhez forrasztjuk a 122 kitámasztó huzal segítségével. Ezt a 122 kitámasztó huzalt szorosan a kapszula köré tekerhetjük. A kapszula kialakítását és megtöltését később írjuk le. Ezután a szerelvényt a fényporréteggel bevont 111 65 bura egyik végébe helyezzük, és hozzáfqrrasztjuk. 2